光栅传感器资料.ppt

（2）电阻电桥细分法（矢量和法） 用此信号去触发施密特电路，当θ=-α(或θ=3600-α)时，Usc=0，施密特电路被触发(过零触发)，发出脉冲信号。α角按细分数选择，即事先安排好电阻比值。 则 若两信号源同频，且 电阻电桥细分法用于10细分 （c）电阻链细分法（电阻分割法） 等电阻链细分电路 实质：用电阻衰减器来进行细分。 来自四个光电元件的信号 过零触发电路 光栅传感器常作为测量元件，用于机床定位、长度和角度的计量仪器中，并用于测量速度、加速度、振动等。由于其测量精度高、动态测量范围广、可进行非接触测量、易实现系统的自动化和数字化，故在机械工业中获得广泛应用。 下图为光栅式万能测长仪的工作原理图。主光栅采用透射式黑白振幅光栅，光栅栅距W＝0.01μm，指示光栅采用四裂相光栅。照明光源采用发光光谱为930nm～l000nm的红外发光二极管，接收用光电三极管，两光栅间的间隙为0.02nm～0.035mm。由于主光栅和指示光栅之间的透光和遮光效应，形成莫尔条纹，当两块光栅相对移动时，便可接收到周期性变化的光通量。利用四裂相指示光栅依次获得sin?、cos?、-sin?和-cos?四路原始信号，以满足辨向和消除共模电压的需要。 光栅传感器的应用 光栅式万能测长仪的工作原理图 由光栅传感器获得的四路原始信号，经差分放大器放大、移相电路分相、整形电路整形、倍频电路细分、辨向电路辨向进入可逆计数器计数，由显示器显示读出。通常采用大规模集成电路来实现以上功能。 光栅式万能测长仪 * * * * 除了 * * 除了 * * * * * * 4.5 光栅传感器 4.5.1 光栅传感器的结构 4.5.2 莫尔条纹形成的原理 4.5.3 莫尔条纹技术的特点 4.5.4 光栅的光路 4.5.5 辨向原理 4.5.6 细分技术 光栅传感器和光栅 光栅传感器是根据莫尔条纹原理制成的一种计量光栅，实际上是光电式传感器的一个特殊应用。 光栅是在一块长条形的光学玻璃上刻有密集等间距平行的刻线，刻线密度为 10～100线／毫米。由于光栅形成的叠栅条纹具有光学放大作用和误差平均效应，故能提高测量精度。由于光栅测量具有结构简单、测量精度高、易实现自动化和数字化等优点，得以广泛应用。该类传感器多用于测位移及位移相关量，如测速度、振动、质量、表面轮廓等。 按光栅的形状和用途分为长光栅和圆光栅，分别用于线位移和角位移的测量。按光线走向分为透射光栅和反射光栅。 4.5.1 光栅传感器的结构 光栅传感器由光源、透镜、光栅副（也称光栅尺，包括主光栅和指示光栅）和光电接收元件组成。 光栅副是主要部分，主要由主光栅(也称标尺光栅)和指示光栅组成。当主光栅相对于指示光栅移动时，形成亮暗交替变化的莫尔条纹。利用光电接收元件将莫尔条纹亮暗变化的光信号，转换成电脉冲信号，并数显，便可测量主光栅的移动距离。 光栅传感器结构 光栅传感器的光源 钨丝灯泡： 常采用，输出功率较大，工作范围较宽（-40℃到+130℃） 但与光电元件相组合的转换效率低。在机械振动和冲击条件下工作时，使用寿命将降低。需定期更换。 半导体发光器件: 发展很快，转换效率高，响应特征快速。 如砷化镓发光二极管，发光接近硅光敏三极管的敏感波长，与硅光敏三极管相结合，有较高的转换效率（最高可达30%左右）。砷化镓发光二极管的脉冲响应速度约为几十ns，可以使光源工作在触发状态，从而减小功耗和热耗散。 什么是光栅 在玻璃尺（或金属尺）或玻璃盘上进行长刻线的密集刻划，得到间隔很小的黑白相间的条纹，没有刻划的地方透光（或反光），刻划的发黑处不透光（或不反光），这就是光栅，其中刻线称为栅线。 a — 栅线的宽度 b — 刻线间的缝隙宽度 W — 光栅的栅距 光栅副：主光栅＋指示光栅 主光栅 (标尺光栅) 和指示光栅构成光栅尺，也称光栅副。其中长的一块为主光栅，短的一块为指示光栅。两光栅上均匀地刻有相互平行、透光和不透光相间的线纹，这些线纹与两光栅相对运动的方向垂直。常见的刻线密度一般为 (10，25，50，100，125，250)线/mm。 通常，主光栅固定在活动部件上，如机床的工作台或丝杆上。指示光栅则安装在固定部件上，如机床的底座上。当活动部件移动时，主光栅和指示光栅也随之做相对移动。 光电元件 包括光电池和光敏三极管等。 在采用固态光源时，需选用敏感波长与光源相接近的光敏元件，以获得较高的转换效率。 在光敏元件的输出端，常接有放大器，通过放大器得到足够的信号输出以防干扰的影响。 4.5.2 莫尔条纹形成原理