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由相关函数拟合极值法提高位相板衍射光斑定位的计算效率.pdf
第17卷第10期 光学精密工程 V01.17No.10
andPrecision ()ct.2009
2009年10月 Optics Engineering
文章编号1004·924X(2009)10~2392—09
由相关函数拟合极值法提高位相板
衍射光斑定位的计算效率
郎治国 ,谭久彬
(哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江哈尔滨150001)
摘要:为了提高相关函数拟合极值法在二维位相板衍射光斑亚像素定位中的计箅效率,对丰H关函数拟合极值法中的模板
大小、拟合窗口大小及相关函数3种影响因素进行了分析。分析过程以仿真图像检验法为理论基础,即用数学仿真图像
验证算法和程序的可靠性和精度。分析结果表明,3种影响因素均对计算效率产乍较大影响,整像素搜索时模板和拟合
窗口大小的选取对定位精度影响最大。同理,对二维位相板衍射光斑亚像索定位实验中的搜索模板和拟合窗口大小进
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