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PN结温度特性： 热量→ P N 半导体PN结 → 分子热运动 热电流 电子→N 空穴→P 温度越高 → 热电流愈大 特点：分辨力高（0.1%℃），精度高； 体积小，重量轻 具有多种输出形式，便于使用， 批量生产，价格便宜 集成化、智能化、微型化 应用：电气元件内置测温、集成测温传感器 5、热敏晶体管与集成温度传感器 五、温度检测 (1) 原理与特点： (2) 热敏二极管 正向压降： U0：0K时的电压 k : 波尔兹曼常数 e : 电子电荷 I : PN结正向电流 D、γ、α ： 常数 T : 温度 特点：当电流I恒定，在一定温度范围内，U ? T（线性） 应用：常温检测 --- CPU内置的热敏二极管(英特尔奔腾 M 处理) 温度范围小，一般几十度以内 --- 常温 五、温度检测 (3) 热敏三极管 Be结导通电压： U0：0K时的电压 k : 波尔兹曼常数 e : 电子电荷 Ic : 集电极电流 ?、γ：常数 特点：当电流I恒定，在一定温度范围内，Ube ? T（线性） 应用：大范围测温 测温范围大（几百度），精度较低 五、温度检测 (4) 集成温度传感器 测温部分： 特点：当电流Ic1、Ic2恒定，Ube ? T（线性） 应用：集成测温、智能测温 集成度高 --- 测温环节 + 放大 + 恒流 + 补偿 + …… 典型：AD590 生产商：AD公司 封 装：双端器件 测 温：-55~150 ℃ 灵敏度：1μA/ K 非线性：0.3 ℃(F.S.) 五、温度检测 第4章 信号检测技术 一、传感器概述 二、长度及位移检测 三、角度及角位移检测 四、绝对测距 五、力/压力检测 六、速度/加速度检测 七、温度检测 八、流量检测 九、电磁量检测 十、视觉检测系统 二、长度及线位移检测 1、电感式位移传感器 W---线圈匝数 Rm---磁路总磁阻 li---各段导磁体的长度 ui---各段导磁体的磁导率 Ai---各段导磁体的截面积 二、长度及线位移检测 (1) 变气隙式 电感位移传感器—基本形式 思考：灵敏度？ 线性度？ 线圈 铁芯 衔铁 改进方法？ 差动式 (2) 变面积式 (3) 螺管式 二、长度及线位移检测 电感位移传感器 意大利Marposs: 二、长度及线位移检测 电感位移传感器 中国中原量仪: 二、长度及线位移检测 (1) 光栅传感器原理 (莫尔条纹) 构成： 叠合 主光栅 指示光栅 夹角 明暗相间条纹 莫尔条纹 移动 条纹宽度： W-栅距， a-线宽， b-缝宽 W=a+b ，a=b=W/2 主光栅---标尺光栅，定光栅； 指示光栅---动光栅 二、长度及线位移检测 (2) 光栅传感器特点 ①精度高：测长±(0.2+2×10-6L)μm，测角±0.1″ ②量程大：透射式---光栅尺长（1米），反射式---几十米 ③响应快：可用于动态测量 ④增量式：增量码测量 → 计数 断电→数据消失 ⑤要求高：对环境要求高→温度、湿度、灰尘、振动、移动精度 ⑥成本高：电路复杂 二、长度及线位移检测 (3) 光栅传感器结构 1 – 主光栅尺（定光栅） 2 – 指示光栅（动光栅） 3 – 光电元件 4 – 透镜 5 – 光源 透射式结构： 反射式结构： 光源 → 指示光栅 → 透射 → 主光栅 →光电元件 光源 →主光栅 → 反射 →指示光栅 →光电元件 二、长度及线位移检测 (4) 代表性产品： 德国Heidenhain（海德汉）： 封闭式：量程3000mm，分辨力0.1 ?m 开放式：量程1440mm，分辨力0.01?m 开放式：量程270mm 分辨力1nm 二、长度及线位移检测 英国Renishaw（雷尼绍）： 量程：任意 分辨力： 0.1 ?m 0.01 ?m 中国长春光机所： 量 程：1000mm 分辨力：0.01 ?m 精 度：2 ?m 二、长度及线位移检测 2、光学干涉（Interference） 干涉原理（单频干涉）： 两束同频光束在空间相遇会发生干涉条纹，其亮暗程度取决于两束光间的相位差Δφ 亮条： 暗条： Δφ=2kπ, k=0,1,l,2,… 相消干涉 Δφ=2kπ, k=0,1,l,2,… 相长干涉 二、长度及线位移检测 双频激光干涉位移传感器 测量原理： 激光器发出一束激光， 含有两束偏振光： 左旋光，频率f1 右旋光，频率f2， 振幅相同， 频率相差约2MHz。 激光束 分光器 参考光束 测量光束 光电检测 λ/4波片 渥氏棱镜 f2→光电检测 f1→角锥棱镜 参