真空技术标准汇编.pdfVIP

ics23.160 J78 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 cs/T 11164一 1999 真空镀膜设备通用技术条件 Vacuumcoatingplantgenericspecification 1999一04一08发布 1999一09一01实施 国 家 质 靛技 术 监 督 局 发布 GB/T 11164一 1999 前 言 本标准是对GB/T11164-1989真《空镀膜设备通用技术条件》进行修订而编制的。 在内容上，对某些技术指标进行了修改.如:B类镀膜设备抽气时间从原来的15,20min改为 lomin;增加了升压率指标;并且由于原标准中C类镀膜设备国内已无生产厂生产.在本次标准修订中 将C类产品取消。 本标准自实施之日起代替GB/T11164-1989, 本标准由国家机械工业局提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会归口。 本标准起草单位:上海曙光机械制造厂、沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人:张树中、李春影、李玉英。 中华 人 民共 和 国国家标 准 GB/T 11164一1999 真空镀膜设备通用技术条件 代替GB/T11164-1989 Vacuum coatingplantgenericspecification 范围 本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在 10--10-Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备(以下简称设 备) 弓}用标 准 下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均 为有效，所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。 GB191-199。包装储运图示标志 GB/T6070-1995 真空法兰 GB/T13384-1992机电产品包装通用技术条件 JB/T7673-1995 真空设备型号编制方法 定义 本标准采用下列定义。 3.1 极限压力 真空系统正常工作时，空载千燥的镀膜室逐渐稳定的最低压力。单位:Pa, 3.2 抽气时间 真空系统正常工作时，将空载干燥的镀膜室从大气压(105Pa)抽到规定的压力所需要的时间。单位: M Ino 3.3 升压率 将空载干燥的镀膜室连续抽气至稳定的最低压力后，截止抽气，在镀膜室内由于漏气或内部放气所 造成的单位时间的升压。单位:Pa/h, 月 ﹃ 技术要求 月 ﹃ 1 设备正常工作条件 月 ﹃ 1.1环境温度:10-30C. ‘ q 1.2 相对湿度:不大于75000 月 ﹃ 1.3 冷却水进水温度 :不高于25C。 月 ﹃ 1.4 冷却水质:城市自来水或质量相当的水。 月 ﹃ 1.5 供电电源:380V、三相、50Hz或220V、单相、50Hz(由所用电器需要而定);电压波动范围 342^399V或 198^-231V;频率波动范围49^51Hz, 国家质f技术监督局1999一04一08批准 1999一09一01实施 1 GB/T 11164一1999 4.1.6 设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书中写明。 4.1.7 设备周围环境整洁，空气清洁，不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的 尘