高温退火处理对TiAlSiN硬质薄膜的微观结构与硬度的影响分析.pdfVIP

2010 年 第 55 卷 第 33 期：3244 ~ 3248 《中国科学》杂志社 论 文 SCIENCE CHINA PRESS 高温退火处理对TiAlSiN 硬质薄膜的微观结构与硬度的 影响分析 王昕, 徐建华, 马胜利, 徐可为* 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室, 西安 710049 * 联系人, E-mail: alexwx@ 2009-11-23 收稿, 2010-09-26 接受 国家自然科学基金、国家重点基础研究发展计划新材料领域项目(2004CB619302)和教育部新世纪优秀人才支持计划 (NCET-04-0934)资助项目 摘要 用弧离子增强反应磁控溅射方法, 在高速钢(W18Cr4V)基体上沉积出具有较高 Al, Si 关键词 含量的 TiAlSiN 多元硬质薄膜, 研究了不同温度退火后薄膜的微观结构和硬度变化. 结果表 弧离子增强反应 明: