光盘表面结构的软模板复制及图案化氧化锌薄膜的纳米压印制备.pdfVIP

2011 年 第 56 卷 第 14 期： 1097 ~ 1102 《中国科学》杂志社 论 文 SCIENCE CHINA PRESS 光盘表面结构的软模板复制及图案化氧化锌薄膜的 纳米压印制备 丁万勇, 戴树玺, 王洋, 王广君, 张兴堂, 杜祖亮* 河南大学特种功能材料教育部重点实验室, 开封 475004 * 联系人, E-mail: zld@ 2010-11-02 收稿, 2011-01-18 接受 国家自然科学基金和教育部科技创新工程重大项目培育基金(708062)资助项目 摘要 模板的制备和选择在纳米压印技术中非常重要. 采用廉价的光盘为模板, 利用聚二 关键词 甲基硅氧烷(PDMS)浇铸到光盘表面, 分离后复制得到光盘的负形结构. 采用纳米压印技 光盘 术, 以PDMS 软模板作为印章对氧化锌纳米溶胶进行直接压印, 实现了氧化锌薄膜的表面 聚二甲基硅氧烷 图案化, 经煅烧后得到晶态氧化锌薄膜.