基于聚焦离子束注入的微纳加工技术的研究.pdfVIP

第28卷第1期 电子显微学报 Vol-28。No．1 2009年2月 ofChineseElectron 2∞9．2 Journal MicroscopySociety 文章编号：1000-6281(2009)0t．0062—06 基于聚焦离子束注入的微纳加工技术研究 徐宗伟1’2，房丰洲1’，张少婧1，陈耘辉1 (1．天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津市微纳制造技术工程中心，天津300072； 2．天津微纳制造技术有限公司，天津300457) ionbeam assisted 摘要：提出了聚焦离子束注入(kuBed implantation，vml)和聚焦离子束xeR气体辅助刻蚀(gas ete她，GAE)相结合的微纳加工技术。通过扫描电镜观察FIBI横截面研究了聚焦离子束加工参教与离子注入深