传感器第6章祥解.ppt

第6章 压电式传感器 压电式传感器是一种有源的双向机电传感器。它的工作原理是基于压电材料的压电效应。石英晶体的压电效应早在1680年即已发现，1948年制作出第一个石英传感器。 下页 返回 第6章 压电式传感器 6.1压电效应 6.2压电材料 6.3等效电路 6.4测量电路 6.5压电式传感器的应用举例 6.6影响压电式传感器精度的因素分析 本章要点 下页 上页 6.1 压电效应 某些晶体或多晶陶瓷，当沿着一定方向受到外力作用时，内部就产生极化现象，同时在某两个表面上产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又恢复到不带电状态；当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变；晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。上述现象称为正压电效应。反之，如对晶体施加一定变电场，晶体本身将产生机械变形，外电场撤离，变形也随着消失，称为逆压电效应。 下页 上页 6.1 压电效应 压电式传感器大都是利用压电材料的压电效应制成的。在电声和超声工程中也有利用逆压电效应制作的传感器。压电转换元件受力变形的状态可分为图6-1所示的几种基本形式。 但由于压电晶体的各向异性，并不是所有的压电晶体都能在这几种变形状态下产生压电效应。例如石英晶体就没有体积变形压电效应。但它具有良好的厚度变形和长度变形压电效应。 下页 上页 6.1.4 压电方程和压电常数 压电常数dij 有两个下标，i（i = 1,代表x轴，i=2, 代表y轴，i=3, 代表Z轴)表示在垂直i 轴的面上产生电荷，j表示承受应力的方向。J=1,2,3分别表示在沿X轴、Y轴、Z轴方向作用的单向应力，j=4,5,6分别表示垂直于X轴、Y轴、Z轴的平面内（即YZ平面、XZ平面和XY平面）作用的剪力。 下页 上页 6.3 等效电路 压电式传感器对被测量的变化是通过其压电元件产生电荷量的大小来反映的，因此它相当于一个电荷源。 而压电元件电极表面聚集电荷时，它又相当于一个以压电材料为电介质的电容器，其电容量为： （6-10） 式中 s--极板面积 εr--压电材料相对介电常数 ?0 --真空介电常数 δ--压电元件厚度 下页 上页 6.3 等效电路 当压电元件受外力作用时，两表面产生等量的正、负电荷Q，压电元件的开路电压(认为其负载电阻为无穷大)U为 （6-11） 这样，可以把压电元件等效为一个电荷源Q和一个电容器Ca的等效电路，如图6-8(a)中的虚线方框；同时也等效为一个电压源U和一个电容器Ca串联的等效电路，如图6-8的虚线方框所示。其中Ra为压电元件的漏电阻。 下页 上页 根据压电元件的工作原理及上节所述两种等效电路，与压电元件配套的测量电路的前置放大器也有两种形式： 电压放大器：其输出电压与输入电压(压电元件的输出电压)成正比。 电荷放大器：其输出电压与输入电荷成正比。 6.4 测量电路 下页 上页 6.4 测量电路 6.4.1电压放大器 电压放大器的作用是将压电式传感器的高输出阻抗经放大器变换为低阻抗输出，并将微弱的电压信号进行适当放大．因此也把这种测量电路称为阻抗变换器。图6-9是电压放大器的简化电路图。 下页 上页 6.4.2电荷放大器 由于电压放大器使所配接的压电式传感器的电压灵敏度将随电缆分布电容及传感器自身电容的变化而变化，而且电缆的更换得引起重新标定的麻烦，为此又发展了便于远距离测量的电荷放大器，目前它巳被公认是一种较好的冲击测量放大器。 下页 上页 电荷放大器：具有深度电容负反馈的高增益放大器。 特点：与电缆电容无关，可对准静态物理量进行测量。 截止频率： 下页 上页 6.5 压电式传感器的应用举例 压电元件是一种典型的力敏感元件。可用来测量最终能转换为力的多种物理量。 在检测技术中，常用来测量力和加速度。 下页 上页 6.5 压电式传感器的应用举例 6.5.1 压电式测力传感器 6.5.2 压电式加速度传感器 下页 上页 6.6.1非线性 压电传感器的幅值线性度是指被测物理量(如力、压力、加速度等)的增加，其灵敏度的变化程度。 6.6.2横向灵敏度 压电加速度传感器的横向灵敏度是指当加速度传感器感受到与其主轴向(轴向灵敏度方向)垂直的单位加速度振动时的灵敏度，一般用它与主轴向灵敏度的百分比来表示，称为横向灵敏度比。 6