模块化学习微波系统详解.ppt

设备模块培训资料　　　　　　　－微波/高频电源系统 培训基本内容 目录 关于微波 微波的产生 关于等离子体 随着温度的升高，一般物质依次表现为固体、液体和气体。它们统称为物质的三态。 当气体的温度进一步升高时，其中许多，甚至全部分子或原子将由于激烈的相互碰撞而离解为电子和正离子。这时物质将进入一种新的状态，即主要由电子和正离子（或是带正电的核）组成的状态。这种状态的物质叫等离子体。它可以称为物质的第四态。 等离子体的产生 等离子体的应用 　系统结构：微波电源，微波发生器，天线。 等离子槽／微波天线 常见故障 　系统结构：由真空管路系统、气路系统、反应室、压力控制系统、SY型射频功率源、电源供电及控制部分组成 。 等离子刻蚀工艺原理 等离子刻蚀工艺原理 系统主要结构简介 微波控制原理图 SY型射频功率源参数 五、常见故障 　　等离子体刻蚀机是基于真空中的高频激励而产生的辉光放电将四氟化碳中的氟离子电离出来从而获得化学活性微粒与被刻蚀材料起化学反应产生辉发性物质进行刻蚀的。同时为了保证氟离子的浓度和刻蚀速度必须加入一定比例的氧气生成二氧化碳。 首先，母体分子CF4在高能量的电子的碰撞作用下分解成多种中性基团或离子。 CF4→CF3，CF2，CF，C，F 其次，这些活性粒子由于扩散或者在电场作用下到达SiO2表面，并在表面上发生化学反应。 　　 反应室 高频电源显示器 匹配器 浮子压力显示器 装卸料仓门 SY型射频功率源 电子管 产生辉光 将四氟化碳中的氟离子电离出来 规格: 　　　1KW； 板极电压: 　　100V—2500V连续可调； 板极电流: 　　≤0.5A； 输出功率: 　　1.8—1KW连续可调； 连续工作时间:　4小时； 频率: 　　　13560KHz； * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * THANK YOU 谢谢 设备工程部 1.学习了解所有工序微波系统的结构． 2.学习熟悉微波系统的控制方式． 3.学习熟悉微波系统的电气原理，元器件原理． 4.常见微波系统故障及处理方法 ２．干法刻蚀微波系统 ３．ＰＥＣＶＤ微波系统 １．微波的介绍 　　微波是指频率为300MHz-300GHz的电磁波，是无线电波中一个有限频带的简称，即波长在1米（不含1米）到0.1毫米之间的电磁波，是分米波、厘米波、毫米波、亚毫米波的统称。微波频率比一般的无线电波频率高，通常也称为“超高频电磁波”。 　　微波能通常由直流电或50Hz交流电通过一特殊的器件来获得。可以产生微波的器件有许多种，但主要分为两大类：半导电真空体器件和电真空器件。电真空器件是利用电子在真空中运动来完成能量变换的器件，或称之为电子管。在电真空器件中能产生大功率微波能量的有磁控管、多腔速调管、微波三、四极管、行波管等。在目前微波加热领域特别是工业应用中使用的主要是磁控管及速调管。 产生等离子体的关键就是要提供能量，一个能够让原子中的外层电子克服原子核的束缚的能量。产生等离子体的方法大致可以分成两种： 通过电能：强电场、微波、激光、宇宙射线等 通过动能：高能粒子轰击、加热等  PECVD微波系统 PECVD微波系统 微波系统的作用 　　为了提高太阳能电池的转换效率，减少阳光的反射，需要在硅片表面镀上一层Si3N4 膜，硅片表面的反射光，遇到膜后，一部分又被反射回硅片表面，因此转化效率得以提高． 　　微波系统通过天线发射微波，使得反应气体（ＮＨ３、SiH4)在硅片表面发生化学反应在表面沉积. 微波系统结构 电源 冷却水温度监视 微波电源 RS232通讯串口 CAN-BUS总线接口 CAN-BUS总线地址 冷却风机 接地 主电源和控制电源 冷却水 冷却水温度监视 微波发生器 定期清洗氧化硅 干法刻蚀 干法刻蚀高频电源系统系统结构 * * * *