1第一章精密切削加工.ppt

微型马达，轴径0.1mm，转速1200 微型齿轮，外径0.1125mm 微细加工的概念 微细加工技术是指微小尺寸零件的生产加工技术。从广义的角度来说，微细加工包括：切削加工、磨料加工、电火花加工、电解加工、化学加工、超声波加工、微波加工、等离子加工、外延生长、激光加工、电子束加工、离子束加工、光刻加工、电铸加工等。从狭义的角度来说，微细加工主要是指半导体集成电路制造技术。 它是在半导体集成电路制造技术的基础上形成并发展的，是大规模集成电路和计算机技术的基础，是信息时代、微电子时代、光电子时代的关键制造技术之一。 在微细加工时，由于加工尺寸很小，精度是用去除材料大小的绝对值来表示，引入了加工单位尺寸的概念。加工单位尺寸简称加工单位，它表示去除材料的大小，例如：原子加工单位表示能去除一个原子。 微细尺寸加工和一般尺寸加工的不同点 1.精度的表示方法 一般尺寸加工时，精度是用加工误差与加工尺寸的比值来表示的。在微细加工时，精度是用尺寸的绝对值来表示的。 2.微观机理 一般加工允许的吃刀量比较大，切屑比较大；微细加工，由于强度和刚度都不允许有大的吃刀量，切屑很小。当吃刀量小于材料晶粒直径时，切削就得在晶粒内进行。 3.加工特征 一般加工多以尺寸、形状、位置精度为加工特征，微细加工却以分离或结合原子、分子为加工对象，以电子束、离子束、激光束三束加工为