激光干涉仪检测方法.docVIP

FANUC、OKUMA机床的激光干涉仪检测方法 一、光的相干性 二、激光干涉法测距原理 三、FANUC螺补参数的设定 四、关于FANUC系统正负方向补偿号的计算方法 五、FANUC的检测用程式 六、OKUMA螺补参数的设定 七、OKUMA检测程式 八、检测值输入的方法 一、光的相干性 相長性干涉 ??當兩個波長相同的光束波形同步射出時，其波峰位置會如下圖 2 一般重合，固稱為“相長性干涉”。 在相長性干涉的情況下，輸出波的振幅等於兩個輸入波的振幅之和。 ?相消性干涉 ?????當兩個相干光束波形以 180° 的相位差異步射出時，一個輸入光束的波峰位置會如下圖 3 一般與另一個輸入光束的波谷重合，固稱為“相消性干涉”。 在相消性干涉的情況下，兩個輸入波會互相抵消而產生暗淡的光  FANUC 15M 5420 各轴参考点的补偿号 5421 负方向的最小补偿点号 5422 正方向的最大补偿点号 5423 螺补量比率 5424 螺补间隔 1851 背隙补偿 FANUC 0M 11/0.1 螺补倍率 712-715 螺补间隔 756-759 螺补间隔 1000, 2000 3000, 4000 补偿基准点 1001-1128 2001-2128 3001-3128 4001-4128 补偿值 535-538 背隙补偿 注：P11.1,P11.0组合形