微机械学中的纳米摩擦学第一节教案分析.pptVIP

微机械学中的纳米摩擦学 1.1 微机械发展简史 ? 1959年，Richard P Feynman提出了微型机械的设想。 ? 1962年硅微型压力传感器问世，其后开发出尺寸为50～500μｍ的齿轮、齿轮泵、气动涡轮及联接件等微系统。 1.1 微机械发展简史 ? 20世纪90年代，发达国家先后投巨资并设立国家重大项目促进MEMS技术的发展。目前，在微型加速度计、微型压力传感器、数字微镜器件（DMD）、喷墨打印机的微喷嘴、生物芯片等领域都实现了MEMS技术。 1.2 MEMS微型化带来的理论问题 目前，各种微器件有机结合成真正意义上的Ｍ EMS还有相当的难度，如何建立MEMS等效机构的失效模型这一问题尚未得到有效解决。其原因主要是人们对微观条件下 MEMS 器件的运动规律、物理特性和受载之下的力学行为缺乏充分的认识，没有形成基于一定理论基础的 MEMS 设计理论方法，只能靠传统方法进行试探性研究。目前， MEMS 基础理论研究还远远不能满足人们的需要，成为整个微光机电系统进一步发展的瓶颈。 1.2 MEMS微型化带来的理论问题 尺度效应 1.3 摩擦学的定义与发展过程回顾 摩擦学（tribology）一词是20 世纪60 年代中期由英国教育科学研究部发表的《关于摩擦学教育和研究报告》（常称为Jost 报告）中首次提出来的，其简要的定义是“关于摩擦过程的科学”。此后，摩擦学作为一门独立的边缘学科才被人们接受。 摩擦学的定义 “研究作相对运动的相互作用表面及其理论和实践的一门科学技术。”——“The science and technology of interaction surfaces in relative motion and of related subjects and practices。” 摩擦学的内容 摩擦学有三大支柱，即：摩擦、磨损和润滑，但是这三方面之合并不等于摩擦学，另外还涉及到摩擦学设计，摩擦学系统分析、监控，摩擦与振动， 表面工程等。 1.3 摩擦学的定义与发展过程回顾 摩擦学的内容 摩擦：能量转化的一种形式 磨损：摩擦过程中所伴随发生的必然结果，其表现形式为材料的损耗和破坏。 润滑：作用在于降低摩擦，减少磨损。 三者相互关联，是存在于自然界中的普遍现象，与人类的物质生产和生活密切相关。 摩擦学的发展过程 ① 早期朴素应用 远古—15世纪 击石取火/ 钻木取火。 4600年前中国 出现的车以滚动摩擦代替滑动摩擦，并用羊油润滑车轴，这可能是最早的润滑剂。 1.3 摩擦学的定义与发展过程回顾 摩擦学的发展过程 ② 古典摩擦定律 ? 意大利雷纳德.达.芬奇（Leonardo da Vinci） 1452-1519年 摩擦力与压力成正比（摩擦第一定律） 摩擦力与接触面积无关（摩擦第二定律） ? 法国阿蒙顿（G. Amontons） 1663-1705年 进一步证实了摩擦学第一定律和第二定律。 摩擦是一个凹凸不平的表面沿另一个表面上的微凸体上升所做的功，也即摩擦是由表面凹凸不平引起的，即摩擦的凹凸说（Roughness Thoery） 提出摩擦力计算公式：F=μN （F为摩擦力，μ为摩擦系数，N为正压力） 1.3 摩擦学的定义与发展过程回顾 摩擦学的发展过程 ② 古典摩擦定律 ? 法国物理学家库伦（C. A. Coulomb） 1736-1806年 动摩擦力比静摩擦力小，且动摩擦力与滑动速度无关（摩擦第三定律） 完善凹凸说，凹凸说的实质是把摩擦的起因归结为接触表面的凹凸不平，当两表面接触时，由于这两个表面的凹凸部分相互咬合，要使其滑动，必须顺着其凸起部反复地抬起来或把凸部破坏掉。 ?? 英国物理学家德萨古利斯（J. T. Desaguliers） 1683-1744年 在其著作《实验物理学教程》（1734页）一书中叙述了产生摩擦力真正原因在于摩擦面之间存在着分子力的作用，主张接触面越光滑，摩擦力就越大。分子粘附说。 英国科学家尤因（J·A· Ewing）和哈迪（W· Hardy）通过实验证实了分子粘附说。 1.3 摩擦学的定义与发展过程回顾 摩擦学的发展过程 ② 古典摩擦定律 ? 前苏联学者捷拉金 20世纪30年代 提出摩擦学的二重性，即摩擦力由机械分力和分子分力组成，摩擦表面做相对运动时，不仅要克服表面分子间相互作用的连接力，还要克服表面