pecvd培训资料 201403.pptVIP

PECVD设备预防性维护 注意：检查时必须戴上保护手套,避免烫伤或污染石墨舟 1.每日检查项目:检查生产石墨舟情况 每天需检查舟工艺点状况。生产中如果发生有碎片的,必须检查工艺点状况和清理掉碎片。硅片接触不好或结板间硅片引起短路将影响镀膜质量或损坏射频电源。 检查舟电结孔，如果不黑，需用专用清洁布擦干净。用N2气枪吹掉粉状物。 如果舟到清洗次数或明显很涨，需湿洗。硅片镀膜后工艺点大，舟需更换工艺点。 PECVD设备预防性维护 注意：吸尘器电源插头只能插在外部电源插座或者另外提供的插座上。严禁把吸尘器的电源插头连到设备特气柜的插座上。 2.每日检查项目:清除设备内部的电池碎片 使用吸尘器清除设备上料部分的电池碎片 PECVD设备预防性维护 注意:只有受过资格认证的人员才能被允许去进行关于电方面的工作. 电源终端位于加热炉体电阻以及变压器超温保护区域,会危及生命.没有任何理由可以在它们工作的时候去触摸它们.在测试完高温监控保护功能后别忘了要恢复到最初的控制温度. 1.每周检查项目:检查所有的风扇和超温保护功能 1.检查所有的加热区域是否每20-30 s循环周期监控超温. 2.认真的检查每个加热炉体上的外部热电偶. 3.检查加热电源是否能在检测到超温后自动切断 --断开加热炉体上的外部热电偶 --加热必须自动切断 --观察加热电源表现,加热继电器必须自动切断,可以听到