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比秒小的时间单位及其换算关系: 1ms (毫秒) 1毫秒=0.001秒=10^-3秒 (millisecond) 1μs (微秒) 1微秒=0.000001=10^-6秒 (microsecond) 1ns (纳秒) 1纳秒=0.0000000001秒=10^-9秒 (nanosecond) 1ps (皮秒) 1皮秒=0.0000000000001秒=10^-12秒 1fs (飞秒) 1飞秒=0.000000000000001秒=10^-15秒 微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS) ▼激光表面淬火——导轨表面强化 (材料: 高强钢) §1.6 激光加工工艺及应用 激光表面合金化 在高能量密度激光束的照射下,将外加合金元素熔化在工件表面的薄层内,从而改变工件表面层的化学成分,形成具有特殊性能的合金化层,以提高工件表面的耐磨性、耐腐蚀性合抗高温氧化等特性,达到材料局部表面改性的目的。 激光熔覆 激光熔覆技术是利用高能量密度的激光束,使材料表面成分、组织结构和性能实现预期变化的技术 以不同的填料方式在被涂覆表面预先放置选择的涂层材料,经激光照射使之和基体表面一薄层同时熔化,并且快速凝固后形成稀释度极低的、与基体材料形成冶金结合的表面涂层,从而显著改善基体材料的表面耐磨、耐蚀、耐热、抗氧化和电气特性的一种工艺。 激光熔覆适用于易磨损、冲击、剥蚀、氧化腐蚀局部要求特殊性能的零部件的表面涂层制备。 不锈钢轴颈.激光熔覆? 大型曲轴.激光熔覆 铸铁.大型轧辊.激光熔覆 2、电子束加工 在真空条件下,利用电子枪中产生的电子经加速、聚焦后能量密度为106~109w/cm2的极细束流高速冲击到工件表面上极小的部位,并在几分之一微秒时间内,其能量大部分转换为热能,使工件被冲击部位的材料达到几千摄氏度,致使材料局部熔化或蒸发,来去除材料。 电子束加工原理 2.1加工原理 (1)只使材料局部加热就可进行电子束热处理; (2)使材料局部熔化就可以进行电子束焊接; (3)提高电子束能量密度,使材料熔化和汽化,就可进行打孔、切割等加工; (4)利用较低能量密度的电子束轰击高分子材料时产生化学变化的原理,即可进行电子束光刻加工。 2、电子束加工 控制电子束能量密度的大小和能量注入时间,就可以达到不同的加工目的。 在真空条件下,将离子源产生的离子束经过加速、聚焦后投射到工件表面。由于离子带正电荷,其质量数比电子大数千倍甚至上万倍,它撞击工件时具有很大撞击动能,通过微观的机械撞击作用从而实现对工件的加工。 3、离子束加工 3.1离子束加工原理 考夫曼型离子源 1—真空抽气口 2—灯丝 3—惰性气体注入口 4—电磁线圈 5—离子束流 6—工件 7—阴极 8—引出电极 9—阳极 10—电离室 相同点:加工原理基本相同。 不同点:离子带正电荷,其质量比电子大数千倍乃至数万倍,故在电场中加速较慢,但一旦加至较高速度,就比电子束具有更大的撞击动能。 电子束加工是靠电能转化为热能进行加工的。 离子束加工是靠电能转化为动能进行加工的。 3、离子束加工 3.2与电子束加工的比较 4、电火花加工技术(电场) 电火花加工是通过工件和工具电极间的放电而有控制地去除工件材料,以及使材料变形、改变性能或被镀覆的特种加工。 电火花成形加工适用于各种孔、槽模具,还可刻字、表面强化、涂覆等; 电火花线切割加工适用于各种冲模、粉末冶金模及工件,各种样板、磁钢及硅钢片的冲片,钼、钨、半导体或贵重金属。 电火花加工原理(成形图) 4.1 电火花加工的特点及应用 实现电火花加工的条件: (1)电极之间始终保持确定的距离(0.02~0.1mm); (2)放电点的局部区域达到足够高的电流密度(一般为105~106 A/cm3),以确保被加工材料能在局部熔化、气化; (3)必须是脉冲性的放电(脉宽0.1~1000μs,脉间不小于l0μs),以确保放电所产生的热量来不及传导扩散到被加工材料的其他部分而集中在局部,使局部的材料产生熔化、气化而被蚀除; (4)及时排除电极间的电蚀产物,以确保电极间介电性能的稳定。 4.2 电火花加工的特点及应用 电火花加工的特点 1)优点 (1)可以加工硬、软、韧、脆、高熔点的导电材料; (2)适于加工特殊及复杂形状的零件 ; (3)脉冲参数可以在一个较大的范围内调节,可以在同一台机床上连续进行粗、半精及精加工。 2)缺点 (1)主要用于加工金

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