第5.3章SAW传感器.pptVIP

5.3 声表面波传感器 声表面波器件 863计划新材料技术领域2008年度，专题四、光电信息与特种功能材料专题，确定的五个方向： 高功率掺铥光纤激光器及其关键部件 基于量子阱激光器的气体检测系统关键技术 微光电机械系统（MOEMS）可调谐光通信器件关键技术及应用 高频声表面波关键材料与应用研究 片式热敏材料及热敏电阻元件制备技术 一.技术基础 1.基本概念 ①声表面波 ： Surface Acoustic Wave 简写为SAW ②优点： 2.声表面波的类型 ①瑞利波 ②乐甫波 其粒子运动方向平行于表面且垂直于传播方向。Love波是一种色散波，其波速与频率有关，它是一种可应用于液相检测的波。 ③拉姆波 拉姆波(也称为曲线声板波)是一种比较特殊的波振动形式，它存在于厚度为几个波长的薄板中。粒子运动和瑞利波相似。 实际应用中拉姆波的频率一般在超高频或微波段，波长在10-8～10-6范围 二.声表面波叉指换能器（IDT） 1.叉指换能器结构参数 ①指对数N ②金属指条的宽度a ③半周期长度L ④孔径──指条的重叠长度W ⑤相邻指条的间隙宽度b 2.IDT的种类 ①W为常数，a为L/2的叉指换能器为孔径均匀叉指换能器； ②孔径是时间函数W（t）的换能器称为振幅加权换能器； ③W为常数，L不是常数的换能器称为相