工程光学12-4平行平板的双光束干涉资料.ppt

透镜的等光程性 在干涉和衍射实验中，常常用薄透镜将平行光线会聚成一点，而不会引起附加的光程差，只能改变光波的传播方向。 ① 经过主光轴的平行光汇聚到焦点，每条光线的光程相等。 ② 经过副光轴的平行光汇聚到焦点，每条光线的光程相等。 ③ 经过副光轴的点光源发出的光汇聚到S’点，每条光线的光程相等。 例题1 例题2 例题3 (2).测量微小物体的厚度 (3). 测量微小角度. (4) 测量微小位移 ［例］在半导体器件生产中，为测定硅片上的Si02薄膜厚度，将薄膜一侧腐蚀成劈尖形状，如图。用钠黄光从空气中垂直照射到Si02表面上，在垂直方向上观察Si02劈尖膜的反射光干涉条纹，看到有七条暗纹，第七条恰位于N处，问薄膜的厚度？ * * §12-4 平板的双光束干涉 分波阵面法的干涉：受到空间相干性的限制（干涉孔径角总有一定大小，且 ），只能使用有限大小的光源，在实际中不能满足条纹亮度的要求（激光光源除外）。为了使用扩展光源，必须实现干涉孔径角等于零的干涉。 分振幅法:利用透明介质的第一和第二表面对入射光的依次反射，将入射光的振幅分解为若干部分，由这些光波相遇所产生的干涉，称为分振幅法干涉。 在使用扩展光源的同时，保持清晰的条纹，解决条纹亮度与可见度的矛盾。 · p S * 干涉条纹的定域 两个单色相干点光源在空间任意一点相遇，总有一确定的光程差，从而产生一定的强度分布，并都能观察到清晰的干涉条纹，这种干涉称为非定域干涉。 在扩展光源情况下，由光源上不同点源出发到达该点的产生双光束干涉的光程差不同，当光程差变化δΔλ/4的区域，条纹可见度下降，观察不到清晰的干涉条纹；而在 δΔλ/4的区域，尽管采用了扩展光源，仍可看到清晰的干涉条纹。能够得到清晰条纹的区域称为定域区（定域干涉）。 可见，定域干涉是和扩展光源的使用联系在一起，它本质上是一个空间相干性问题。 一、 等倾干涉 （暗） = 2.1.4 分振幅干涉 1、 等倾干涉相长与相消的条件 1、倾角相同的光线形成的干涉光光强相同。 问题：1、透射光的干涉情况如何？ 2、透镜换成眼睛能看到这些条纹吗？ 2、所有的平行光汇聚在透镜焦平面上的同一点。使条纹的对比度更高。 3 、透镜正放，焦面上条纹是一组同心圆。 2、等倾干涉的特点 条纹分析 其称为条纹的角间距（相邻条纹对透镜中心的张角），易知，靠近中心的条纹较疏，离中心越远条纹越密。 中央条纹宽，边缘条纹窄。 白光照射空气中的平行薄膜，已知h=0.34?m，n=1.33 问：当视线与膜法线成 60o 和 30o 时观察点各呈什么颜色 ？ 解 你知道肥皂泡上美丽的彩色花纹是如何形成的吗？ 在白光照射下，肥皂泡的膜形成等倾干涉条纹。 刚吹起肥皂液膜厚度较大，前后表面反射光光程差超过相干长度，不能干涉。 随着泡张大，膜厚减小，光程差小于相干长度后产生干涉，白光中反射加强成份显色，显色波长随膜厚减小而改变。 当膜厚趋于零时，光程差只有半波损失引起的，各种颜色前后表面反射光的相干差都是?/2时，反射相消，膜呈黑色，此时泡将破裂。 在比较复杂的光学系统中， 入射光的能量往往因多次反射而损失。例如，高级照相机的镜头有六、七个透镜组成。反射损失的光能约占入射光能的一半，同时反射的杂散光还要影响成像的质量。 常在镜面上镀一层厚度均匀的透明薄膜 ，利用薄膜干涉的性质，控制光学原件的对光能的影响，通常有增透膜和高反膜 二、 等厚干涉 第m条暗纹对应膜厚hm 相邻 两条纹 中心间距 厚度差 劈尖薄膜的等厚干涉 （适于平行光垂直入射） (1). 当有半波损失时，在劈棱 处为暗纹， 否则为一亮纹； (2). 干涉条纹是平行于棱边的直条纹 (3). 相邻明（暗）纹间距 (4). 楔角愈小，干涉条纹分布就愈稀疏 等厚干涉条纹分布的特点： 劈尖表面附近形成的是一系列与棱边平行的、明暗相间等距的直条纹。楔角愈小，干涉条纹分布就愈稀疏；当用白光照射时，将看到由劈尖边缘逐渐分开的彩色直条纹。 三. 等厚条纹的应用 劈尖的应用 测波长： 测折射率： 测细小直径、厚度、微小变化 测表面不平度 等厚干涉型的干涉系统统称为斐索干涉仪。常用于光学零件表面质量的检查，按照测量对象分为： 平面干涉仪和球面干涉仪 测细小直径、厚度、微小变化 Δh 待测块规 λ 标准块规 平晶 测表面不平度 等厚条纹 待测工件 平晶 检验透镜球表面质量 标准验规 待测透镜 暗纹 ? (1)检测待测平面的平整度 由于同一条纹下的空气薄膜厚度相同，当待测平面上出现沟槽时条纹向左弯曲。 待测平面 光学平板玻璃 将微小物体夹在两薄玻璃片间，形成劈尖，用单色平行光照射。 由 有 例如用波长为589.3nm的钠黄光垂直照射长 L=20mm 的空气劈尖，测得条纹间距为