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第3章 电阻应变式传感器 三. 应变片的种类及特性参数 1.种类：金属应变片（丝式、箔式）、薄膜式应变片、半导体应变片。 2. 主要特性参数：应变片的原始电阻值、绝缘电阻、灵敏系数、允许电流、机械滞后、应变极限。 3.2 电阻应变片测量电路 一. 应变片测量电路的构成 二. 应变测量电桥应变测量电桥应变测量电桥传感器3.3电阻应变片温度误差及补偿措施电阻应变式传感器一. 教学要求 3.掌握电阻应变片的测量电路－桥路的三种形式。 4.了解测量电路的补偿方法 5.了解压阻压阻式传感器的工作原理 二．重点、难点电阻应变片的测量电路 2.应变式传感器的测量电路的补偿方法 3.1 应变片的基本结构与工作原理 一.应变片的基本结构 应变片种类繁多、形式多样，但基本构造大体相同都是由敏感栅、基底、覆盖层、引线及黏合剂构成。如图3.1所示。 金属电阻应变片的敏感栅有丝式和箔式两种形式。丝式金属电阻应变片的敏感栅由直径为0.01mm～0.05mm 的电阻丝平行排列而成。箔式金属电阻应变片是利用光刻、腐蚀等工艺制成的一种很薄的金属箔栅，其厚度一般为0.003mm~0.01mm. 应变片的工作原理 如图3.3 （3.1） 式中—电阻丝的电阻率； ——电阻丝的长度； ——电阻丝的截面积 图3.金属电阻丝当电阻丝受到轴向的拉力F作用时，将伸长Δl，横截面积相应减小ΔA，电阻率因材料晶格发生变形等因素影响而改变了Δρ，从而引起的电阻值 则相对变化量为 ⑴ 称为金属电阻丝的轴向应变，简称应变。对于圆形截面金属电阻丝，截面积，则 称为金属电阻丝的径向应变。 根据材料的力学性质，在弹性范围内，当金属丝受到轴向的拉力时，将沿轴向伸长，沿径向缩短。轴向应变和径向应变的关系可以表示为 式中μ—电阻丝材料的泊松比，负号表示应变方向相反。 ⑶电阻丝的灵敏系数K把单位应变引起的电阻值变化量定义为电阻丝的灵敏系数K，则 它的物理意义是：单位应变所引起电阻值相对变化量的大小。 灵敏系数K受两个因素影响： 应变片受力后材料几何尺寸的变化，即1+2μ 。 应变片受力后材料的电阻率发生的变化(压阻效应)，即(dρ/ρ )/ε对金属材料来说，电阻丝灵敏度系数表达式中1+2μ的值通常要比(dρ/ρ )/ε大得多，μ=0.3~0.5，所以K值在1.6~2之间；而半导体材料的(dρ/ρ )/ε项的值比1+2μ大得多。实验表明，在电阻丝拉伸极限内，电阻的相对变化与应变成正比，即K为常数。 2.横应变片承受轴向应力而产生纵向拉应变时，各直线段的电阻将增加，但在半圆弧段受到应变，为了减小横向效应产生的测量误差，现在一般多采用箔式应变片。3. 测量原理R时，便可得到被测对象的应变值ε， 根据应力与应变的关系，应变ε与应力σ成正比，即σ = E.ε，试件材料的弹性模量。 三. 应变片的种类及特性参数 1.种类：金属应变片（丝式、箔式）、薄膜式应变片、半导体应变片。 2. 主要特性参数： ⑴ 应变片的原始电阻值：指在未受力的情况下，室温下测得的电阻值，有60、120、350、600、1000等多种阻值。电阻值大，可以加大应变片的承受电压。 ⑵ 绝缘电阻：应变片的敏感栅， ⑶灵敏系数：灵敏系数K值的准确性直接影响测量精度，K尽可能大且稳定。 ⑷允许电流：应变片10%的范围内，应变片所能达到的最大应变值称为应变极限。 ⑻热滞后 3.2 电阻应变片测量电路 一. 应变片测量电路的构成 由于机械应变一般都很小，要把微小应变引起的微小电阻变化测量出来，同时要把电阻相对变化ΔR/R转换为电压或电流的变化。因此，需要有专用测量电路用于测量应变变化而引起电阻变化的测量电路，通常采用直流电桥或交流电桥电桥是由无源元件电阻R(或电感L、电容C)组成的四端网络。它在测量电路中的作用是将组成电桥各桥臂的电阻R(或L、C)等参数的变化转换为电压或电流输出。直流电桥交流电桥应变测量电桥若将组成桥臂的一个或几个电阻换成电阻应变片，就构成了应变测量电桥。应变应变测量电桥RL→∞时，电桥输出电压为 当，即，，电桥处于平衡状态。 称为电桥平衡条件。 注意：电桥在测量前应对其调零，以使工作时电桥输出电压只与应变片的电阻变化有关，为得到最大灵敏度，设定初始条件为，此时电桥称为等臂电桥。 电桥平衡条件：欲使电桥平衡，其相邻两臂电阻的比值应相等， 或相对两臂电阻的乘积应相等。 2. 单臂测量电桥 应变时，若应变片电阻R1的变化为ΔR，其它桥臂固定不变，电桥输出电压Uo≠0，则电桥不平衡，输出电压为 设桥臂比n=R2/R1，由于ΔR1R1，分母中ΔR1/R1可忽略，并考虑到平衡条件R2/R1=R4/R3，则上式可写为 电桥电压灵敏度