力和压力检测系统讲义.ppt

压阻式传感器是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过检测电路就可得到正比于力变化的电信号输出。 压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度）的检测和控制。 任务二 压阻式压力传感器的应用 压阻效应：当力作用于某些硅晶体时，晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化，电阻率发生变化。 一、压阻式压力传感器 任务二 压阻式压力传感器的应用 压阻式压力传感器：周边固定支撑的电阻和硅膜片的一体化硅杯式扩散型压力传感器。 优点是： 频率响应高,适于动态检测 体积小，适于微型化，可集成到一个芯片上 精度高，可达0.1～0.01 灵敏高, 有些应用场合可不加放大器 无活动部件，可靠性高 任务二 压阻式压力传感器的应用 任务二 压阻式压力传感器的应用 压阻式压力传感器广泛地应用于航空航天、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震检测等各个领域。 任务二 压阻式压力传感器的应用 二、压力传感器检测常识 任务二 压阻式压力传感器的应用 1. 负压和绝压检测 3. 2. 漂移及影响传感器漂移的因素 精度 1.负压和绝压检测 图5-17所示为负压检测压力图，负压传感器也称为表压传感器，传感器两端均连接至大气，两端受到大气压力相同时相互抵消。 任务二 压阻式压力传感器的应用 图5-18所示为绝压检测压力图，绝压传感器的背面完全密封且抽为真空。因此，绝压传感器可以检测大气压的变化，通常检测没有参考气压值的气体环境。 任务二 压阻式压力传感器的应用 2.漂移及影响传感器漂移的因素 压力传感器中的漂移产生的根本原因在于所有的压力传感器均基于一种材料的弹性变形，不论其材质弹性如何良好，每次弹性回复后，总会产生一定的弹性疲劳和残余形变。在传感器使用过程中，由于弹性材料引起的漂移根据材质不同各不相同。 任务二 压阻式压力传感器的应用 3.精度 压力传感器的精度表示方法是以误差值的大小来量度的，一般为±%FS，即误差相当于满量程的百分比。通常精度包含了非线性误差、重复性误差和迟滞（回复）误差。例如，压力传感器标示精度为±0.5%FS，量程为100 kPa，则最大误差不会大于±0.5 kPa。 任务二 压阻式压力传感器的应用 三 、压力传感器性能指标 任务二 压阻式压力传感器的应用 1. 额定压力范围 额定压力范围是满足标准规定值的压力范围。也就是在最高和最低温度之间，传感器输出符合规定工作特性的压力范围。在实际应用时传感器所测压力在该范围之内。 任务二 压阻式压力传感器的应用 2. 最大压力范围 最大压力范围是指传感器能长时间承受的最大压力，且不引起输出特性永久性改变。特别是半导体压力传感器，为提高线性和温度特性，一般都大幅度减小额定压力范围。因此，即使在额定压力以上连续使用也不会被损坏。一般最大压力是额定压力最高值的2－3倍。 任务二 压阻式压力传感器的应用 3. 损坏压力 损坏压力是指能够加工在传感器上且不使传感器元件或传感器外壳损坏的最大压力。 任务二 压阻式压力传感器的应用 4. 线性度 线性度是指在工作压力范围内，传感器输出与压力之间直线关系的最大偏离。 任务二 压阻式压力传感器的应用 5. 压力迟滞 为在室温下及工作压力范围内，从最小工作压力和最大工作压力趋近某一压力时，传感器输出之差。 任务二 压阻式压力传感器的应用 6. 温度范围 压力传感器的温度范围分为补偿温度范围和工作温度范围。补偿温度范围是由于施加了温度补偿，精度进入额定范围内的温度范围。工作温度范围是保证压力传感器能正常工作的温度范围。 实训目标 使用表压法压阻式压力传感器检测一个密封容器内的气压值，初步掌握压力传感器的一般特性和质量检查方法，掌握压力变送器的输出连接方法，熟悉压力传感器的使用特点和一般规程。 实训二 使用压阻式压力传感器检测气压 实训二 使用压阻式压力传感器检测气压 实训二 使用压阻式压力传感器检测气压 注意事项 （1）压阻式传感器的精度很高，但是存在的最大问题在于长期稳定性不够理想，存在较大的漂移，这是传感器本身的特性所决定的。为了保证计量校准结果的准确和可靠，通常在一段时间内需要重新标定，一般为一年。 实训二 使用压阻式压力传感器检测气压 （2）高精度的稳定检测需要关闭气泵电源，以免产生气动不稳定对容器的真实压力产生影响，从而得出错误读数。 （3）检测过程中，需要与大气相连通的管接头保持畅通状态，以确定气压检测的基准不发生改变。 实训二 使用压阻式压力传感器检测气压 思考与练习 1.通过电阻