反应等离子喷涂与等离子增强化学气相沉积技术简介讲解.doc

反应等离子喷涂与等离子增强化学气相沉积技术简介 摘 要 本文简要介绍了反应等离子喷涂和等离子增强化学气相沉积技术的基本知识, 包括这两种表面处理技术的原理、反应过程、特点、 工艺参数、 应用等相关内容, 并结合具体实例来阐述通过这两种技术所制备涂层的性能. 结果表明, 反应等离子喷涂制备的涂层组织致密, 结合力好, 并且有很好的韧性; 而采用等离子增强化学气相沉积技术在盐基体比在硅胶基体上获得的涂层更加的致密连续, 通过该技术制备的SiN薄膜应用在太阳电池上, 可大幅度的提高电池效率. 关键词 反应等离子喷涂, 等离子增强化学气相沉积, 涂层 THE INTRODUCTION OF REACTIVE PLASMA SPRAYING AND PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION ABSTRACT This paper described the basic knowledge of the reactive plasma spraying and plasma enhanced chemical vapor deposition, such as the principles, the processes, the characteristics, technological parameters, applications and so on. It also depicted the coating’s performances made up by these two technologies. The results show that the coating prepared by the reactive plasma spraying has compact phases and good adhesions and good toughness; the coating prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition with the salt substrate has a better compact phases than that with the silica gel substrate and this technology can be used to prepare the SiN films of the solar cell and it can improve the efficiency. KEY WORDS Reactive plasma spraying, Plasma enhanced chemical vapor deposition, Coating 人们应用表面处理技术已有上千年的历史, 从19世纪工业革命开始表面处理技术开始迅速发展, 尤其是最近几十年来, 表面处理技术更是获得飞速的发展, 涌现了大量的现代表面技术, 在工、 农业生产、 生物、医学, 人们日常生活中得到越来越广泛的应用. 表面工程技术已经发展成为横跨材料学、摩擦学、物理学、化学、表面力学、材料失效与防护、金属热处理学、腐蚀与防护学、光电子学等学科的边缘型、综合型、复合型学科. 表面工程技术具有学科的综合性、手段的多样性、广泛的功能性、潜在的创新性、极强的实用性和巨大的增效性, 因而受到各行业的重视, 产生的经济效益令人瞩目[1]. 对于固体材料来说, 使用表面技术的主要目的是提高材料的抵御环境作用的能力; 使材料表面具有某种功能特性, 包括热、磁、光、电、吸附和分离等各种物理和化学性能; 可以实现在特定的表面上加工, 从而制造元器件、构件和零部件等. 表面技术使材料表面具有某种特殊功能主要是通过以下两种途径[2]得以实现的: ① 施加各种覆盖层, 主要采用各种涂层技术, 包括电镀、化学镀、堆焊、热喷涂、塑料粉末涂敷、热浸涂、搪瓷涂敷、陶瓷涂敷、真空蒸镀、溅射镀、离子镀、化学气相沉积、分子束外延制膜、离子束合成薄膜技术等. 此外, 还有其他形式的覆盖层, 例如各种金属经过氧化和磷化处理后的膜层和贴片的整体覆盖层等. ② 用机械、物理、化学等方法, 改变材料表面的形貌、化学成分、相组成、微观结构、缺陷状态或应力状态, 即采用各种表面改性技术. 主要有喷丸强化、表面热处理、化学热处理、等离子体表面处理、激光表面处理、电子束表面处理、高密度太阳能表面处理、离子注入表面改性等. 绪论 1.1 反应等离子喷涂技术 1.1.1 反应等离子喷涂的工作原理及反应过程 反应等离子喷涂是利用等离子焰流作为热源, 引发所喷涂粉末发生高温自蔓延反应, 反应放出的热量使其本身迅速蔓延, 从而在焰流中合成所需产物,