2010检测技术-第5章电容式式传感器解析.pptVIP

传感器与检测技术 第五章　 电容式传感器 电容式传感器利用了将非电量的变化转换为电容量的变化来实现对物理量的测量。 广泛用于位移、振动、角度、加速度以及压力、差压、液面（料位）、成份含量等方面的测量。 特点： 结构简单、体积小、分辨率高； 可实现非接触式测量； 动态响应好； 能在高温、辐射和强振动等恶劣条件下工作； 电容量小，功率小，输出阻抗高，负载能力差，易受外界干扰产生不稳定现象。 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 一般极板间距在25～200um范围内，而最大位移应小于间距的十分之一，因此这种电容式传感器主要用于微位移测量。 可测量位移精度：0.01微米到0.1微米。 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 5.1电容传感器的工作原理 灵敏度得到一倍的改善 线性度得到改善 5.2电容传感器的测量电路 5.2电容传感器的测量电路 5.2电容传感器的测量电路 5.2电容传感器的