第3章电容传感器.docVIP

第三章、电容式传感器 ①、电容式传感器是将被测非电量转换成电容量变化的一种传感器。 ②、优点：结构简单，分辨率高，工作可靠，采用非接触测量方式，能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作。 缺点：存在泄漏电阻，具有非线性。 ③、常用于位移、振动、加速度、压力、压差、液位、成分含量的测量。 第一节、 电容式传感器的工作原理 ①、电容式传感器是以静电场有关定律为其理论基础的。 ②、对于平板电容器，当忽略边缘效应影响时，极板的有效面积以及两极板间的距离d有关 （3-1） 式中：：电容量与真空介电常数（=8.854×10-12F?m-1）、：极板间介质的相对介电常数； d：极板的有效面积以及两极板间的距离； A=a×b：极板的有效面积 ③、d、、三个参量中任意一个发生变化时，都会引起电容量的变化，通过测量电路可将它转换为电量输出。 ④、电容式传感器可分为：变极距型、变面积型、变介质型三种类型。 图3-1、平板电容器 第二节、 电容式传感器的类型及特点 一、变面积型电容传感器 1、变面积型电容传感器原理图： 图3-2为变面积型电容传感器的原理图。 图3-2、直线位移型电容传感器 2、变面积型电容传感器工作原理： ⑴、初始电容C0： 当两极板完全重叠时，电容量为，被测量通过动极板移动，引起两极板有效覆盖面积改变，从而得到电容的变化。 设：为初始电容。 当动极板相对定极板沿宽度a方向平移Δx时，则电容为 （3-2） C= C0－ΔC ⑵、电容的相对变化量为： 显然传感器的输出特性呈线性。适合于测量较大的直线位移和角位移。 ⑶、灵敏度为： 可见：①、灵敏度是个常数； ②、增大b值、减小d值，可增大灵敏度； ③、但极板的长度b不易过小，否则边缘效应增大，使非线性误差也增大。 ④、与变极距型相比，变面积型电容传感器的灵敏度较低。因此，在实际应用中，也采用差动式结构，以提高灵敏度。 ⑤、灵敏度是负值，表明Δx正则ΔC为负；其曲线如下图。 3、变面积型电容传感器的几种派生形式： a、角位移型；b、齿形极板型；c、圆桶型；d、差动型； 图3-3、变面积型电容传感器的派生形式 ⑴、角位移型变面积型电容传感器： ①、角位移型变面积型传感器原理图： 图3-3（a）； ②、角位移型变面积型传感器原理： ∵ 当动片角位移θ时，两极板的覆盖面积变化，导致电容量的变化。电容为： （3-3） ③、灵敏度为： 可见：Cθ与θ特性呈线性 ⑵、极板采用齿型板： ①、极板采用齿型板传感器原理图： 如图3-3b；其目的是为了增加遮盖面积，提高灵敏度； ②、极板采用齿型板传感器原理： 设齿型板的齿数为n，移动型板Δx后其电容为： （3-4） ③、灵敏度为： 二、变极距型电容传感器相对非线性误差 ⑴、原理图： 图（3-4）为变极距型电容传感器的原理图。 1定极板、 2动极板 图（3-4）变极距型电容传感器的原理图 图中，定极板1固定不动，动极板2随被测参数的变化而上下移动x。 ⑵、工作原理： ①、初始电容量：若传感器的ε和为常数，初始的极距为d；其初始电容量（静态电容为）： ②、传感器的输出特性：C0与d成反比，传感器的输出特性C=f（d）为非线性，如图所示。 输出特性C=f（d）曲线 ③、当动极板移动x后，其电容为： （3-5） 当xd时；1-x2/d2≈1； 则： （3-6） 由式（3-5）可知：电容C与x不是线形关系；只有当xd时，才能认为是近似线形关系。 ④、电容的变化量为： ⑤、电容的相对变化量为： ⑥、灵敏度为： 要提高灵敏度，应减小起始间隙d；但当d过小时，易引起击穿。一般在极板间添加介电常数高的物质（云母、塑料膜），且可以改善电容器的耐压性能。 ⑦、其相对非线性误差为： 非线性误差与初始极距d也成反比关系。 提高传感器的灵敏度和减小非线性误差是相矛盾的。在实际应用中，为解决这一矛盾，大都采用差动式电容传感器。 实际的非线性特性曲线与理想的线性特性曲线的偏差称为绝对非线性误差;绝对非线性误差与理想的线性特性曲线的比称为相对非线性误差 ⑵、工作原理： ①、在差动结构中，动极板置于两定极板之间，当动极板在平衡位置时，d1=d2=d，则两边初 始电容相等。当动极板向上有位移x时，两边极距分别为d1=d-x和d2=d+x；两组电容的数值也