第七章微泵修改1.docVIP

第七章 微 泵 泵的微小化必须从两个方面进行突破：一是驱动器；二是单向流动执行器。对驱动器而言，传统驱动器多半采用回转运动的扭矩输出，如马达。可是马达结构复杂很难突破传统意义上的微小化。对往复式泵而言，传统的单向流动执行器即单项阀结构也很难制作得简单，所以单项阀和马达形成了往复阀式泵微小化的瓶颈。 微泵技术起源于20世纪90年代，主要是采用了新型的功能性材料作为替代传统的驱动器，如压电陶瓷、电磁流体、形状记忆合金等。这些功能性材料本身就是换能器，把电能直接转化为机械能。单向流动执行器则没有突破机械加工的范畴，只是利用了流体的一些特性简化了单项阀。 本章以压电陶瓷的振动解析、压电泵单向流动原理及泵流量计算等作为主要内容做详细的介绍。 7.1 压电陶瓷的振动解析 7.1.1 Euler方程与边界条件 压电泵的振动子是由图7-1所示的振动方大圆片及单侧或两侧粘贴压电陶瓷圆片所组成。 图7-1 压电泵的振动子 建立如图7-2所示的振子模型及坐标系（r，θ，ω）。其中ω为弯曲变位；r为半径；k与ν分别是材料的弹性系数与泊松比；H为振动子厚度, 为振子材料的平均密度，与分别为振子两种材料的弹性系数与泊松比。在此我们认为，。 图7-2 振子模型及坐标系(以压电流管无阀泵为例) 振动子的Euler方程如下 （7-1） 式中：；；。当z=0时，α能性的边界条件可由式（7-2）得到 （7-2） 式（7-1）的解可表示为 （7-3） 把式（7-3）代入式（7-1），得到的方程满足贝塞尔微分方程，因此式（7-3）中的ωn可以表示为 （7-4） 这里Jn(z)、I n(z)为第一种贝塞尔函数，I n(z)为第一种变形贝塞尔函数。A、B是任意常数。 7.1.2 振动子的平衡方程 为了防止泄漏，振动子与泵体之间，一般需要加密封层，如橡胶圆环片，这样振动子就存在黏性与弹性二因素支点。图7-3是振动子的黏弹性力学模型。其中c为阻尼系数；k为弹性系数；m为振动子质量的1/2。当r=R时，力的平衡方程式表示如下 （7-5） 式中：?、分别为振动子的振动速度和加速度。振动子内各点关于时间的简谐振动方程为 （7-6） 整理式（7-6）得到力的平衡方程 （7-7） 图7-3 振动子的黏弹性力学模型 7.1.3 强制扭矩 施加电压的压电陶瓷产生径向变形，其加载电压与应力之间的关系为 （7-8） 式中：σr、d31是径向应力和压电常数。施加交流电压时，V=V0ejωt(ω=2πf)。压电陶瓷伸缩变形。对振动子而言，其中心面产生强制扭矩，强制扭矩可表示为 （7-9） 把式（7-8）代入式（7-9），可得到振动子强制扭矩与加载交流电压的关系式 强制扭矩Mr作用时，其边界条件为 当r=R时，F+Fm=0，M=0 （7-10） 其中 7.1.4 边界条件列式 式（7-4）中的系数A、B可由式（7-10）求出，即 （7-11） 其中，，[Ω]是根据式（7-10）确定的2×2矩阵。然后把式（7-4）代入式（7-3），得出振动子各点随时间变化的变位 (7-12) 图7-4 非装着扩张与收缩流管时的吸入过程 7.2 单向流动原理及泵流量 7.2.1 吸入分析 下面将以压电流管无阀泵为例,进行单向流动原理及泵流量的解析。图7-4为非装着扩张与收缩流管时的吸入过程。流体经由流管Ⅰ′、Ⅱ′开口被吸入泵腔内。因为Ⅰ′、Ⅱ′等径、等阻，所以被Ⅰ′与Ⅱ′吸入的流体总量相等，即 （7-13） 同理，吸入过程的水头也相等，即