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目 录
1.0 目的 2
2.0 范围 2
3.0 适用文件 2
4.0 设备及工具 2
5.0 责任 2
6.0 指示内容 3
6.1 工艺流程 3
6.2 来料检查 3
6.3 前处理机操作指引 4
6.4 磨板机操作指引 11
6.5 静电除尘机操作指示 14
6.6 辘感光油机操作指引 15
6.7 贴膜机操作指引 26
6.8 HAKUTO610I/720I/1500B/1500C/ SUN自动压膜机操作指引 26
6.9 曝光机操作指引 28
6.10 菲林测微机操作指引 44
6.11 菲林光密度测试及要求 45
6.12 酸性蚀刻拉操作指引 45
6.13 各流程设备使用的物料及环境注意事项 73
7.0 7S划线贴胶规范 76
8.0 维修物料SE按频率备料、检查; 76
9.0 记录 76
1.0 目的?
本文件目的是为内层干菲林工序建立标准操作指示。
2.0 范围
本工作指示适用于内层干菲林工序。
3.0 适用文件
下列文件的最新版本有效。
QAP05 品质/环境记录控制程序
MEI041 化学药水控制及保养工作指示
MEI010 外层干菲林工作指示
MEI042 全厂取、放及搬运板工作指示
MEI043 喷咀保养工作指示
MEI030 流程及设备技术能力
MEI031 流程及设备生产能力
MEI034 千尺物料消耗一览表
MEI046 首板制作工作指示
MEI051 空化学品容器操作指引
EIEI006 废水处理工作指示
EIEI012 废液废渣处理指示
EIEI015 废气处理工作指示
PMCI005 废物及废料处理指示
PAI002 环境/工业安全指示
PAI004 非本厂回收废物处理工作指示
4.0 设备及工具
设备:化学处理机、辘感光油机、手动贴膜机、手动曝光机、全自动曝光机、全自动贴膜机自动清洁机、酸性蚀刻拉、DES蚀刻拉、磨板机。
工具:平板车、手动加药泵、十倍镜、百倍镜、粘尘辘、曝光尺、测试菲林机、光密度测试仪。
.0 责任
生产部负责执行日常操作及保持工作参数条件正常, 药品的添加和更换与保养。
流程工程师负责对流程问题提供技术支持。
维修工程师负责生产设备的维修服务及保养和预防性检修。
化验室负责日常药水分析。
环境工业工程部负责废气、废液、废渣的处理。
品质保证部负责品质的控制与分析出现品质问题的原因。
6.0 指示内容
6.1 工艺流程
化学处理/机械磨板→辘感光油/辘干膜→曝光→显影→蚀刻→褪膜:
6.2 来料检查
6.2.1 检查来料横直料是否有区分标识;
6.2.2 检查westell客户板是否经过粗磨、及来料披锋和板面氧化状况,检查披锋标准,戴白手套抹板边不得有明显的划手现象;
6.2.3 检查来料板面,将用油性笔写有字的板、严重披锋、擦花的板及板面油污及胶渍严重板挑出退回给开料处理,避免缺陷板流入洁净房,铜面凹痕、擦花、压伤缺陷超出5%退回开料处理,在生产记录栏填写,并反馈给前工序改善;
6.2.4 内层汽车板BOSE板来料100%、纬创板、线圈板3%检查板面擦花、凹痕,缺陷比例超过3%或板边披锋严重的退回开料处理,开料处理OK后确认对品质无影响方可收板生产,缺陷板在辘板后检查,做标示后曝光并记录;
6.2.5 开料出货时≥14mil的板每叠放板高度≤80CM,<14mil的板需用L车或竖放出货,防止压伤和擦花;
6.3 前处理机操作指引
6.3.1 板面检查:
放板员工需全检板面,对有黑点、垃圾、胶渍等板面不良情况板用砂纸和酒精擦洗干净后再放入磨板,有自动放板机的在上板前按10%抽检板面擦花、凹痕等,缺陷比例超过3%的需处理后再放入自动放板;
对板面氧化等不良情况用3%的H2SO4溶液擦洗后再放板入磨板;
披锋严重的板则退回开料房磨边处理,合格后再放入磨板。
自动放板段开机操作指示:
打开总进气阀门,检查压力在4~6 bar范围内,检查压力表和用手检查吸盘是否正常,要求感觉有吸气即可,喷嘴破损SE保养时更换
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