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3.4　电容式传感器 若电介质εr1=1，则： 五 电容传感器性能的改善 （1）静电击穿问题 应对办法：为防止击穿，通常在两极板间再附加一层云母或塑料薄片。 （2）边缘效应 应对办法：增设防护电极，如图所示。 （3）寄生电容 产生原因：电容式传感器除了极板间的电容外，极板还可能与周围物体（包括仪器中的各种元件甚至人体）之间产生电容联系，这种电容称为寄生电容。 应对办法：对传感器进行静电屏蔽，即将电容器极板放置在金属壳体内，并将壳体良好接地。出于同样原因，其电极引出线也必须用屏蔽线，且屏蔽线外套须同样良好接地（驱动电缆技术）。 驱动电缆技术：这一技术的基本思路是将电极引出线进行内外双层屏蔽，使内层屏蔽与引出线的电位相同，从而消除了引出线对内层屏蔽的容性漏电，而外层屏蔽仍接地而起屏蔽作用。 （4）温度误差 应对办法：选择合适的电极材料或在测量电路中加以补偿。 电容式差压变送器 各种电容式差压变送器外形 各种电容式差压变送器外形 利用电容差压变送器测量液体的液位 差压变送器 加速度传感器在汽车中的应用 加速度传感器安装在轿车上，可以作为碰撞传感器。当测得的负加速度值超过设定值时，微处理器据此判断发生了碰撞，于是就启动轿车前部的折叠式安全气囊迅速充气而膨胀，托住驾驶员及前排乘员的胸部和头部。 汽车气囊的保护作用 电容式接近开关在物位测量控制中的使用演示 指纹识别目前最常用的是电容式传感器，也被称为第二代指纹识别系统。新一代的指纹系统采用了电容传感器技术，并采用了小信号来创建山脉状指纹图像的半导体设备。指纹识别器的电容传感器发出电子信号，电子信号将穿过手指的表面和死性皮肤层，而达到手指皮肤的活体层（真皮层），直接读取指纹图案，从而大大提高了系统的安全性。 下图为指纹经过处理后的成像图： 六、 电容式转速传感器 齿轮转动时，电容量发生周期性变化，通过测量电路转换为脉冲信号，则频率计显示的频率代表转速大小。设齿数为z,频率为f,则转速为: 图为IBM ThinkpadT42/T43 的指纹识别传感器 七、 指纹识别传感器 电容式传感器等效电路 L包括引线电缆电感和电容式传感器本身的电感； r由引线电阻、极板电阻和金属支架电阻组成； C0为传感器本身的电容 Cp为引线电缆、所接测量电路及极板与外界所形成的总寄生电容 Rg是极间等效漏电阻 极板间的漏电损耗和介质损耗、极板与外界间的漏电损耗和介质损耗 r C0 CP Rg L 低频等效电路 传感器电容的阻抗非常大，L和r的影响可忽略 等效电容C=C0+Cp， 等效电阻Re≈Rg C Rg 高频等效电路 电容的阻抗变小，L和r的影响不可忽略，漏电的影响可忽略 ，其中C=C0+Cp，而re≈r re C L 由于电容传感器电容量一般都很小，电源频率即使采用几兆赫，容抗仍很大，而R很小可以忽略，因此 此时电容传感器的等效灵敏度为 当电容式传感器的供电电源频率较高时，传感器的灵敏度由kg变为ke，ke与传感器的固有电感（包括电缆电感）有关，且随ω变化而变化。 第二节 测量电路 一、变压器电桥 输出空载电压 初始平衡状态，C1=C2=C, u0=0 对于变极距差动电容传感器有： 代入，得 线性良好 二、运算检测电路 运算检测原理图 由于运算放大器的放大倍数非常大，而且输入阻抗Zi很高, 运算放大器的这一特点可以作为电容式传感器的比较理想的测量电路，如图示。 由运算放大器工作原理可得 如果传感器是一只平板电容，则Cx=ε0S/δ，代入，可得 输出电压与动级片的输入位移δ呈线性关系； 需要高精度的交流稳压源，输出亦为交流电压，需要经精密整流变为直流电压输出； 电容传感器的电容小，容抗高，所以传感器与运算放大器之间的连接需要屏蔽措施； 不适用于差动式电容传感器的测量。 结论： 三、差动脉冲调宽电路 脉冲宽度调制电路图 脉冲宽度调制电路电压波形 电路各点波形如上图（b）所示，此时uA、uB脉冲宽度不再相等，一个周期(T1+T2)时间内的平均电压值不为零。此uAB电压经低通滤波器滤波后， 可获得Usc输出 式中： U1——触发器输出高电平； T1、T2——C1、C2充电至UF时所需时间。 其中 将T1、T2代入得 对于变间隙式差动电容传感器，可得 对于变面积式差动电容传感器，可得 结论： 面积变化型和极距变化型差动电容传感器，均能获得线性输出特性； 不需附加相敏检波器，经过低通放大器就能得到较大的直流输出，调宽频率的变化对输出没有影响。 仅需一电压稳定度较高的直流电源，而不需要高稳定度的稳频稳幅的交流电源。