声表面波加速度计SEU教案解析.pptVIP

声表面波加速度计Surface Acoustic Wave Accelerometer 132627 Name:lbn 1，引言 2，特点 3，国内外研究概况 4，主要结构 5，工作原理 6，主要误差源 7，应用前景 声表面波器件展示 引言 1885年，瑞利(Lord Rayleigh)在历史上首先开始了对沿均匀各向同性半无穷大弹性固体中弹性波的理论研究，并在理论上发现和说明了集中在介质表面附近的弹性波，提出了表面波的概念。而现代声学技术的诞生和发展则要得益于叉指换能器(IDT)技术的发展，因为在出现IDT之前，瑞利的固体表面波理论基本上处于纯理论状态。然而，1965年，美国物理学家怀特(R.W.White)和沃尔特默(F.W.Voltmer)在研究压电介质表面波时发现：IDT能够在压电介质上产生表面波，而表面波的传播又会影响压电介质的电场分布。 声表面波器件展示 特点 1，声表面波特点： 声表面波是沿介质表面传播的，这一特点使得SAW器件在设计、制作、信号提取和加工处理等方面都十分简单方便。特别是由于SAW的传播速度远小于电磁波的传播速度(小5个数量级)，这不仅使得SAW信号在传播过程中能够得到从容的处理，而且使得SAW器件比同样功能的电子器件体积小、重量轻。 特点 2，声表面波传感技术特点： 一，高精度、高敏感和高灵敏度； 二，可直接