测试技术焦生杰吕彭民压电式传感器要点分析.pptVIP

第六章 压电式传感器 6－1压电效应及压电材料 一、压电效应 压电效应：某些物质(物体)，如石英、铁酸钡等，当受到外力作用时，不仅几何尺寸会发生变化，而且内部也会被极化，表面上会产生电荷;当外力去掉时，又重新回到原来的状态，这种现象称之为压电效应。 逆压电效应：如果将这些物质 (物体)置于电场中，其几何尺寸也会发生变化，这种由外电场作用导致物质 (物体)产生机械变形的现象，称之为逆压电效应，或称之为电致伸缩效应。 如果从石英晶体中切下一个平行六面体(如图)并使其晶面分别平行于z一z、y一y、x一x轴线。晶片在正常情况下呈现电性，若对其施力，则有几种不同的效应。通常把沿电轴(x轴)方向的作用力(一般利用压力)产生的压电效应称为“纵向压电效应”；把沿机械轴 (y轴)方向的作用力产生的压电效应称为“横向压电效应“；在光轴(z轴)方向的作用力不产生压电效应。沿相对两棱加力时， 则产生切向效应。压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 纵向压电效应： QXX=d11FX 横向压电效应： QXY=-d11Fyb/a 式中：压电系数即压电材料受力时所产生的电荷与作用力之间的比例系数。 二、压电材料： 具有压电效应的物质(物体)称为压电材料(或称为压电元件)。 分类：常见的压电材料可分为两类，即压电单晶体和多晶体压电陶瓷。 1、压电单晶体 ：有石英(包括天然石英和人造石英)、水溶性压电晶体(包括酒石酸钾钠、酒石酸乙烯二铵;酒石酸二钾、硫酸锤等); 2、多晶体压电陶瓷：有钛酸钡压电陶瓷、锆钛酸铅系压电陶瓷、铌酸盐系压电陶瓷和铌镁酸铅压电陶瓷等。图所示为天然石英晶体，其结构形状为一个六角形晶柱，两端为一对称棱锥。在晶体学中。可以把它用三根互相垂直的轴表示，其中，纵轴Z称为光轴;通过六棱线而垂直于光铀的X铀称为电轴;与X一X轴和Z一Z轴垂直的y一y轴 (垂直于六棱柱体的棱面)，称为机械轴。 6-2 测量电路 压电晶片的等效电路： 一个电荷源Q； 一个以压电材料为介质的电容Ca； 绝缘漏电阻Ra。 压电传感器的等效电路： 后续输入电路的输入电容Ci； 连接电缆的寄生电容CL； 后续电路与传感器本身电阻Ra形成的泄露电阻R0。 前置放大器 原因：由于压电式传感器的输出电信号很微弱，通常应把传感器信号先输入到高输入阻抗的前置放大器中，经过阻抗交换以后，方可用一般的放大检波电路再将信号输入到指示仪表或记录器中。 前置放大器的作用： 1、将传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出; 2、放大传感器输出的微弱电信号。 前置放大器电路的形式: 1、电压放大器：用电阻反馈的电压放大器，其输出电压与输入电压(即传感器的输出)成正比; 2、电荷放大器：即带负反馈电容的高增益运算放大器，其输出电压与输入电荷成正比。电荷放大器电路可以彻底消除的电缆分布电容的影响，电荷放大器的应用日益广泛。 电压放大器 使用电压放大器，传感器与前置放大器组成的测量系统输出电压与电缆电容有关。因此，对电缆电容的变化非常敏感，电缆的长度和型号变化时都会引起仪器的灵敏度变化。所以，在实际测量中很不实用。 电荷放大电路 电荷放大器电路的输出电压为： 其中：k为电荷放大器开环放大倍数；ci为放大器输入电容；cf为电荷放大器反馈电容。 如果放大器开环增益足够大，则 ，故上式可简化为： 上式表明，在一定情况下，电荷放大器的输出电压与传感器的电荷量成正此，并且与电缆分布电容无关。因此，采用电荷放大器时，即使联接电缆长度在百米以上，其灵敏度也无明显变化，这是电荷放大器的突出优点。 6－3 压电式传感器及其应用 一、压电式传感器 最简单的压电式传感器的工作原理如图所示。在压电晶片的两个工作面上进行金属蒸镀，形成金属膜，构成两个电极。当压电晶片受到压力F的作用时，分别在两个极板上积聚数量相等而极性相反的电荷，形成电场。因此，压电传感器可以看作是一个电荷发生器，也可以看成是一个电容器。 如果施加于压电晶片的外力不变，积聚在极板上的电荷又无泄漏，那么在外力继续作用时，电荷量将保持不变。这时在极板上积聚的电荷与力的关系为： q=DF 上式表明，电荷量与作用力成正比。当然