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传感元件或传感器 原始 输入量 变换 原理 物理 现象 能量 关系 输出量 变磁阻式 位移 电磁 感应 结构型 控制型 自感 系数 差动 变压器式 位移 电磁 感应 结构型 控制型 互感 系数 涡流式 位移、厚度、 电阻率 磁导率 涡流 效应 结构型 控制型 涡流 6.4 电感式传感器的应用 * 电感传感器优点： 灵敏度高，分辨力高，位移：0.1?m ； 精度高，线性特性好，非线性误差：0.05%?0.1 % ； 性能稳定，重复性好 ； 结构简单可靠、输出功率大、输出阻抗小、抗干扰能力强、对工作环境要求不高、寿命长 能实现信息的远距离传输、记录、显示和控制等。 * 6.4.1.电感传感器的应用 自感式、互感式传感器两者的工作原理虽不相同，但在应用领域方面具有共同性，除了用于测量位移、构件变形、液位等外，还可用于测量压力、力、振动、加速度等物理量。 * 一、加速度测量 如图所示为测量加速度的原理框图。在该结构中，衔铁即为惯性质量，它由两个弹簧片支撑。传感器的固有频率由惯性质量的大小及弹簧刚度决定，这种结构的传感器只适于低频信号（100～200Hz）的测量。 * 二、液位测量 如图所示为测量液位的原理图，图中衔铁随浮子运动反应出液位的变化，从而使差动变压器有一相应的电压输出。 * 三、电感式滚柱直径分选 以前用人工测量和分选轴承用滚柱的直径是一项十分费时且容易出错的工作。下图是电感式滚柱直径分选装置的示意图。 * 由机械排序装置送来的滚柱按顺序进入电感测微仪。电感测微仪的测杆在电磁铁的控制下，先是提升到一定的高度，让滚柱进入其正下方，然后电磁铁释放，衔铁向下压住滚柱，滚柱的直径决定了衔铁位移的大小。电感传感器的输出信号送到计算机，计算出直径的偏差值。完成测量的滚柱被机械装置推出电感测微仪，这时相应的翻板打开滚柱落入与其直径偏差相对应的容器中。 * 6.4.２电涡流传感器的应用 位移x的变化 ?? 电量的变化 可做成位移、振幅、厚度等传感器 电导率?的变化 ?? 电量的变化 可做成表面温度、电解质浓度、材质判别等 磁导率?的变化 ?? 电量的变化 可做成应力、硬度等传感器 x、?、?的综合影响 可做成材料探伤装置 * 1.位移测量 它可测量各种形状试件的位移值，测量范围为0～15mm（分辨率为0.05mm），或0～80mm（分辨率为0.1％）。凡是可变换成位移量的参数，都可用电涡流式传感器来测量，如汽轮机的轴向窜动（如图所示）、金属材料的热膨胀系数、钢水液位、纱线张力、流体压力等。 * 2.振幅测量： 电涡流式传感器可测量各种振动幅值，为非接触式测量 。 * 下图所示为电涡流式转速传感器工作原理图。 在软磁材料制成的输入轴上加工一键槽, 在距输入轴表面d0处设置电涡流传感器, 输入轴与被测旋转轴相连。 当被测旋转轴转动时, 输出轴的距离发生d0+Δd的变化。由于电涡流效应, 这种变化将导致振荡谐振回路的品质因素变化, 使传感器线圈电感随Δd的变化也发生变化, 它们将直接影响振荡器的电压幅值和振荡频率。因此, 随着输入轴的旋转, 从振荡器输出的信号中包含有与转数成正比的脉冲频率信号。 该信号由检波器检出电压幅值的变化量, 然后经整形电路输出脉冲频率信号f n 。该信号经电路处理便可得到被测转速。 3.转速测量 * 或者在一个旋转金属体上加一个有N个齿的齿轮，旁边安装电涡流传感器（如图b所示），当旋转体转动时，电涡流传感器将周期地改变输出信号，该输出信号频率可由频率计测出，由此可算出转速。 f——频率值(Hz)； n——旋转体的槽(齿)数； N——被测轴的转速(r／min)。 a）带有凹槽的转轴及输出波形 b）带有凸槽的转轴及输出波形 1－传感器 2－被测物 * 这种转速传感器可实现非接触式测量, 抗污染能力很强, 可安装在旋转轴近旁长期对被测转速进行监视。最高测量转速可达 600 000 r/min(转/分)。 * 可以用来检查金属的表面裂纹、热处理裂纹以及用于焊接部位的探伤等。 综合参数(x, ρ, μ)的变化将引起传感器参数的变化，通过测量传感器参数的变化即可达到探伤的目的。 在探伤时导体与线圈之间是有着相对运动速度的，在测量线圈上就会产生调制频率信号 4.电涡流探伤 * a)比较浅的裂缝信号 b)经过幅值甄别后的信号