OLED封装系统.docVIP

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题目:细则 产品:OLED封装系统 模型:LLE470-1D1P1G20 客户: 授权于: 客户: LAN技术服务公司: 修订记录: 日期 次数 说明 作者 2002.11.30 初版 说明:本文件为机密文件 相关细则在设计过程中可能有所不同 系统总览: 本系统设计用于OLED器件面板和后盖玻璃封装制作。所有过程或在气压下的套式箱中,或在真空中完成。气体净化系统由逻辑编程控制器(PLC)系统主控器控制。 系统构造: (图略) 带2道门阀的传递室 带1道门阀的传递室 分配室 干燥室(干燥剂安放室) UV清洗室 封装室 OLED器件面板与后盖玻璃联结暨UV封装室(包括装配系统)。 UV加工室 装片机械手位置 卸片机械手位置 真空烤箱 真空烤箱 概要: 物件: OLED 器件玻璃 370(L)*470(W) 后盖玻璃 370(L)*470(W) 厚度: OLED器件玻璃 0.7mm 后盖玻璃 1.1mm 应答时间: 5min 4.工艺流程: OLED器件玻璃 4-1 传递室A中的机械手将OLED器件玻璃从沉积设备递送到封装室F(器件玻璃正面朝下)。 4-2 在封装过程中,OLED器件玻璃由升高-手指夹持、提升,并被上层平台真空吸附。 后盖玻璃 4-3 安放后盖玻璃于盒子中,随后由MGV安放到真空烤箱上。 于是,在真空烤箱中,后盖玻璃被加热和抽真空 4-4 烘烤后,OLED器件玻璃一片片地被机械手通过门阀从H递送到UV清洗室。 4-5 后盖玻璃在特定气体中UV光清洗,于是E室被干泵抽真空。 4-6 当E室中的气压抽到特定值时,N2被清除。 4-7 机械手B从UV清洗室E中夹起一片后盖玻璃递送至干燥室D。 4-8 干燥室D中有2台夹起和放置机械,并旋转提供干燥剂。 4-9 机械手B从干燥室D夹起后盖玻璃,送至分配室C。 4-10 在分配室C,4台分配器把UV胶涂敷在后盖玻璃上,以便绘制图案。 4-11 在分涂有UV胶后,后盖玻璃被递送至封装室F。 4-12 提升-手指夹持后盖玻璃、下沉,并安放在底座平台上。 4-13 当2片玻璃通过CCD对位在封装室后,UV光从底部照射,于是在封装室F两片玻璃被封装在一起。 装配线 4-14 装配设备被递送到UV加工室G。 4-15 UV光从底部加工装配设备。 4-16 加工后,玻璃被机械手Ⅰ通过门阀从UV加工室递送到细分盒。装满后,后者被MGV递送到下道工序。 5. 各室详细情况介绍: 5-1 传递室A和B: 传递方法: 单轴机械手递送 ф15mm*LEAD 20mm 递送速度: 800mm/sec(最大值) 机械手材料: 铝 表面处理: 硬性阳极氧化铝 物件夹持方式: 手持玻璃外边缘: 边缘8mm宽是接触面: 马达: 100W伺服马达 冲程: 850mm 5-2 分配室C: 分配头由ASYMTEK提供。 分配驱动与控制由LAN技术服务公司制造。 分配系统有4个分配头。 4个分配头的动作可由XZ机械手单独控制。 (a) 分配器: ASYMTEK DV 8000 (b) 驱动: Y机械手、XZ机械手和XYθ平台。 (c) 注射容量: 50cc (d) 注射数量: 4鸣管 (e) 分配树脂宽度: 1—1.5mm+/-15% (f) 分配树脂高度: 0.03mm(至0.05mm) (g) 单元尺寸: 由可变程序控制。 (h) 分配头加热器: 已安装。 (I) 分配头清洗器: 已安装。 参考值: 分配速度大约每分配头1秒钟1英寸。 然而,这受UV胶粘性的影响和变化。 5-3 干燥室D: 本室有干燥剂吸取单元,该单元通过2个分别带有XY机械手的吸盘来吸取干燥材料。 (a) 吸附单元 2头 一头可在同一时间同一行中拾取3个干燥剂。 (b) 驱动: Y机械手和XY机械手 (c) 供给单元: 轴连递送。 (d) 电吹风: 2套。 (e) 卷轴数量: 2套。 (

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