6压电传感器修改20101026要点分析.ppt

天然形成的石英晶体外形 天然形成的石英晶体外形 石英晶体切片及封装 石英晶体振荡器（晶振） 2、压电陶瓷 压电陶瓷是一种经极化处理后的人工多晶铁电体。所谓“多晶”，它是由无数细微的单晶组成；所谓“铁电体”，它具有类似铁磁材料磁畴的“电畴”结构。每个单晶形成一单个电畴，无数单晶电畴的无规则排列，致使原始的压电陶瓷呈现各向同性而不具有压电性(如图所示)。要使之具有压电性，必须作极化处理。 三、压电传感器的结构和应用 压电式测力传感器 * 陶瓷片极化 压电陶瓷片内束缚电荷与电极上吸附的自由电荷示意图 自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反而数值相等， 它起着屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外的作用， 因此陶瓷片对外不表现极性。 * 压电陶瓷的正压电效应 压电陶瓷片上加上一个与极化方向平行的外力，陶瓷片将产生压缩变形，原来吸附在极板上的自由电荷，一部分被释放而出现放电现象。 当压力撤消后，陶瓷片恢复原状，片内的正、负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，因此电极上又吸附部分自由电荷而出现充电现象。 放电电荷的多少与外力的大小成比例关系 Q —— 电荷量； d33 —— 压电陶瓷的压电系数； F —— 作用力。 * 若在陶瓷片上加一个与极化方向相同的电场，如图6.1.9所示，内于电场的方间与极化强度的方向相同，所以电场的作用使极化强度增大。 陶瓷片内的正负束缚电荷之间距离也增大，就是说，陶瓷片沿极化方向产生伸长形变(图中虚线) 如果外加电场的方向与极化方向相反，则陶瓷片沿极化方向产生缩短形变。 由于电效应而转变为机械效应或者由电能转变为机械能的现象，就是逆压电效应。 * （1）钛酸钡（BaTiO3）压电陶瓷 具有较高的压电系数和介电常数，机械强度不如石英。 （2）锆钛酸铅Pb（Zr·Ti）O3系压电陶瓷（PZT） 压电系数较高，各项机电参数随温度等外界条件的变化小，温度稳定性好，在锆钛酸铅的基方中添加一两种微量元素（如钨、铌等），可以获得不同性能的PZT材料。 （3）铌镁酸铅Pb(MgNb)O3-PbTiO3-PbZrO3压电陶瓷（PMN） 具有较高的压电系数，在压力大至700kg/cm2仍能继续工 作，可作为高温下的力传感器。 压电陶瓷种类 * 6.2 压电式传感器测量电路 6.2.1等效电路 6.2.2测量电路 * 6.2.1等效电路 图6.2.1 压电传感器的等效原理 * 压电式传感器的等效电路 等效成一个电压源U a= q/Ca 和一个电容Ca的串联电路 等效为一个电荷源q与一个电容Ca并联的电路 * 图6.2.3压电传感器的完整等效电路 如果用导线将压电传感器和测量仪器连接时，则应考虑连接导线的等效电容、电阻，前置放大器的输入电阻、输入电容。 压电传感器的绝缘电阻Ra与前置放大器的输入电阻Ri相并联。 为保证传感器和测试系统有一定的低频(或准静态)响应，就要求压电传感器的绝缘电阻保持在 才能使内部电荷泄漏减少到满足一般测试精度的要求。 以上 * 6.2.2测量电路 压电式传感器的前置放大器有两个作用： 一是把压电式传感器的高输出阻抗变换成低阻抗输出； 二是放大压电式传感器输出的弱信号。 前置放大器也有两种形式： 一种是电压放大器，其输出电压与输入电压(传感器的输出电压)成正比； 另一种是电荷放大器．其输出电压与输入电荷成正比。 * 1 电压放大器 Ca：传感器的电容 Ra：传感器的漏电阻 Cc：连接电缆的等效电容 Ri：放大器的输入电阻 Ci：放大器的输入电容 * 等效电阻R为 等效电容为 前置放大器输入电压 压电元件的力 F=Fmsinωt 压电元件的压电系数为d33，产生的电荷为Q = d33·F。 输入电压的幅值 当作用力是静态力（ω=0） 时，前置放大器的输入电压为零。 原理上决定了压电式传感器不能测量静态物理量。 压电式传感器突出优点：高频响应相当好。 * 输入电压与作用力之间的相位差： 令 为测量回路的时间常数 令 如果 作用力变化频率与测量回路时间常数的乘积远大于1时，前置放大器的输入电压 与频率无关。 可以近似看做输入电压与作用力频率无关。 当改变连接传感器与前置放大器的电缆长度时， CC将改变, 也随之变化 也变化 在设计时，常常把电缆长度定为一常值。因而在使用时，如果改变电缆长度，必须重新校正灵敏度值 * （6.2.9） （6.2.10） 传感器的电压灵敏度与回路电容成反比，增加回路电容必然使传感器的灵敏度下降。 为此常将输入内阻很大的前置放大器接入回路。 其输入内阻越大，测量回路时间常数越大．则传感器低频响应也越好。 * 2 电荷放大器 能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电压源，