压电材料在声表面波探测技术中的应用技术方案.pptVIP

3. 基于SAW技术传感器发展趋势 1、高精度高灵敏度，需要采用一些新方法新技术，改善器件性能，提高系统稳定性 2、小型化/便携式，传感器多是与其他机械或者电子系统集成，SAW传感器系统必须尽可能减小体积，便携式且低功耗，满足各种机载、车载、航载等要求 3、多功能集成化、低成本，多功能集成SAW传感器结构简单、系统体积小且大大降低了系统成本 4、智能化与无线传感网络 * * 对于d32表示压电效应的电荷出现在3定义的方向，而其力的来源于2定义的方向，被称为压电系数，公式D3表示在定义的3方向产生的压电效应的电位移，T1表示来自于1方向的力的大小，所以压电方程：D3=d32*T2 * 施加电场时和施加应力时也是一样，要注意方向。而对于逆压电效应：我们定义材料发生的应变S=l/L其中l表示在施加电场前后材料的长度的伸缩量，L代表未施加电场前的某方向长度。S1=d31*E3表示沿第三个方向施加的电场在第一个方向产生的伸缩应变，（假设极化沿3方向） 逆压电效应的产生 * 当我们在压电陶瓷材料垂直于极化电场的方向的面内做一个叉式电极时，它就会在压电陶瓷的表面产生一个切应变，实际上是施加的电场，要促使极化的电畴扭转而产生一个切应力或切应变，就相当于一个切应力作用在压电薄膜表面，当这个电场是个交变电场时，它就会相当于一个时刻改变方向的应力，这是你再把它想成一个弹簧振子，它就回来会震动从而形成纵波和横波，瑞利波 叉式激励怎么产生表面波 * * * * 在涂胶时一定要涂得平整，不然做完叉式电极后不好再做其它的修饰 * * 显影是最主要的，叉式电极的地方一定不能有叉式电极的线被显段的地方 * * * * * * * * * * 三、SAW探测技术的应用 1. SAW探测技术的研究进展 2. SAW探测技术的应用 3. 基于SAW技术传感器发展趋势 1. SAW探测技术的研究进展 声表面波（Surface Acoustic Wave，SAW）是一种在固体浅表面传播的弹性波。英国物理学家瑞利在19世纪80年代研究地震波的过程中偶然发现。 1965年，White等人发明了在压电材料表面激励声表面波的金属叉指换能器，加速SAW技术发展。 1970年，该技术应用于脉冲压缩雷达系统。 1985年，SAW滤波器应用于电视和VCR中。 1990年该滤波器应用于小型移动通讯设备。 1. SAW探测技术的研究进展 典型的声表面波器件包括：传感器、滤波器、振荡器、混频器、放大器、声光调制器、声光偏转器等。其中SAW传感器在声表面波探测技术中起关键性作用。 自20世纪80年代，人们发现外界因素（温度、压力、气体、电场等）会对声表面波传播特性产生影响，进而研究这些影响与外界因素的关系。根据所研究的函数关系，设计所需的结构，用于各种物理、化学、生物等参数的探测。所以，SAW传感器在日本、欧美等国家取得迅速发展，出现了十几种新型SAW传感器。近年来，随着SAW技术、微电子工艺等水平的显著提高，SAW传感器迎来了新的发展契机。 1. SAW探测技术的研究进展 SAW传感器是电子技术与材料科学相结合的产物，它主要由SAW振荡器、敏感的界面膜料和振荡电路组成。 与传统传感器相比，SAW传感器具有快速、抗干扰、易编码、保密性好、成本低、性能高、体积小、能承受极端工作条件(如高温、强电磁辐射)等优点。此外，它可实现无源化，无须外部供电，这使得它比传统的传感器更能胜任无接触测量。SAW传感器具有等优点，目前已广泛应用于许多领域。 1. SAW探测技术的研究进展 目前为止，已经研制的SAW传感器大致可以分为以下三类： 物理传感器：压力传感器、温度传感器、角速度传感器、电压传感器、磁场传感器、位移传感器、角速度传感器（陀螺仪）等 化学传感器：气体传感器、湿度传感器、露点传感器等 生物传感器：酶传感器、液体识别传感器、免疫传感器等 2 SAW探测技术的应用 2.1 SAW气体传感器 需求背景：化学生物武器等恐怖威胁，突发性生产、环境问题，食品医疗等问题。 解决途径：快速检测是解决环境质量检测、食品安全、重大生产事故预警与救援等问题的有效手段。 应对策略：高灵敏度气体传感器 2.1 SAW气体传感器 传统气体传感器 接触燃烧式气体传感器：检测元件一般为铂金属丝，通过燃烧可燃性气体引起铂金属丝电阻值变化来探测气体。 电化学气体传感器：通过检测电流来检测气体的浓度，可用于检测有毒气体及氧气。灵敏度高，选择性好，但是寿命短，一般为1~2年。 半导体金属氧化物气体传感器：应用普遍，灵敏度高，响应速度及寿命都比较客观；但是，气体选择性、稳定性差，功率高。 SAW气体传感器 灵敏度高，抗干扰能力强，输出信号为振荡器频