WI-RD-03-25镀膜机操作及镀膜工艺指导书解析.docVIP

镀膜指导书 受控状态及编号 文件编号 GL/WI-RD-03-页码 Page 1 of 部门 技术部 发布日期 20年月日 拟制 审核 批准 变更 履历 1 2007-05-28 文件整合 将老版文件改为新版的格式 聂旭光 2 2007-08-15 内容新增 1、增加产品镀膜前烘烤要求 Page 15 周霞 2、增加表单 Page 20 周霞 3 2007-10-09 客户审核要求 1、增加变更履历 Page 1 杨莎 2、去掉产品镀膜前烘烤要求 Page 15 周霞 3、5#镀膜机增加光栅增透 Page 15 聂旭光 4 2008-04-29 内容新增 新增镀膜应急情况处理办法 Page 7.8 冯浩 5 2008-09-09 内容新增 Page 12 冯浩 6 2009-04-13 内容变更 更新3#镀膜机作业流程 14 何健 7 2009-04-24 内容新增 新增4#镀膜机作业流程 21 何健 8 2009-05-18 客户审核要求 新增镀膜产品切换要求 Page 21 何健 9 2009-08-05 文件整合 全部更新冯浩 内新增m/10.8um光栅镀膜工艺增加nm增透工艺2010-7-28 内容变更 1. 变更3#镀膜机保养规范 Page 13 2.变更4#镀膜机工艺参数 22 3.变更5#镀膜机工艺参数 26 4. 变更6#镀膜机工艺参数 Page 30 徐威 袁超 13 2010-9-13 内新增Page 18，32 叶小兵 14 2010-9-20 内新增 2011-4-18 内容新增 新增镀膜工艺卡片三洋BD414蓝光偏小AR、正常AR、偏大AR 徐威 16 2011-11-21 文件整合 全部更新2011-12-30 内容变更 部分内容调整 Page 3.4.7 靖泽兵 18 2012-2-8 内容变更 表单变更 Page28 靖泽兵 19 2012-3-12 内容变更 表单变更 Page28 靖泽兵 20 2012-5-21 内新增2012-12-26 内容变更 表单变更 Page28 靖泽兵 22 2013-1-5 内新增Page16 徐威 23 2013-1-14 内新增 Page3、4 2.新增下伞条件 Page 8 3.新增离子源存放要求 Page 16 4.变更设备清洗流程 Page 13、15、20、22 5.变更配件更换要求 Page 14、21 徐威 24 2013-12-9 应客户要求 增加《产品面别一览表》 30 杨莎 25 2014-4-23 内容变更 Sio2加料变更 Page 4 徐威 一、目的 为了规范镀膜作业，特制定该文件二、适用范围 本适用于人员三、设备及辅助材料 3.1 #：真空镀膜机3.2 2#：真空镀膜机3.3 3#：真空镀膜机 3.4 4#：真空镀膜机#：现代南光ZZS1100真空镀膜机；6#：现代南光ZZS1100真空镀膜机；3.7其它设备及辅助材料：镀膜材料、吸尘器、铜刷、锤子、镊子、丙酮、口罩、手套 四、编号 名称 适用产品 .1 1#昭和镀膜机作业流程 、膜等 #昭和镀膜机作业流程 、膜等 .3 3#莱宝镀膜机作业流程 光栅、、分光、、膜等 .4 4#韩一镀膜机作业流程 、分光、全反、膜等 .5 5#南光镀膜机作业流程 分光、膜等 .6 6#南光镀膜机作业流程 膜等 .7 镀膜产品切换要求 五、5.1镀膜流程图 5.2镀膜操作说明 　 昭和 莱宝 韩一 南光 开机 参考设备部文件 参考设备部文件 参考设备部文件 参考设备部文件 清扫 使用工具：铜刷和吸尘器2、清扫流程： 注意事项： ⑴整个清洁过程中操作人员必须戴口罩、手套； ⑵遮料板每罩清扫，每3罩反射镜更换1次，并拆网喷砂处理。 (3)用铝纸包的护板每5罩反射镜(35罩AR)须更换。 添料 1、添加SiO2时，先将坩埚周围卫生清洁再将烧结成块的SiO2取出，然后加入新的SiO2膜料。添加时，用添料勺一边添加一边压紧，最终添加到膜料与坩埚上边沿齐平即可。2、添加TiO2时，需将前一次熔出的坑填平。※ 添加膜料注意相对应坩埚序号，及所