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Casaxps作图说明 制作人：赵华丽 刘玉萍 Casaxps软件处理filename.vms格式的文件 1.用casaxps处理宽谱 能够得到的信息: （1）定性分析：归属宽谱中各个峰。图1为经过峰归属后所得到得xps谱图。 峰归属步骤 打开vms格式文件，点击Options →Elements，出现Element library窗口，点击Periodic table，出现一张元素周期表，点击find peak，宽谱上各个峰就被归属了。但是，这时候归属的峰多，不容易分辨，可以做一些修饰。点击 Options →Annotation，出现Annotation窗口，点击peak labels，会出现很多峰相对应的信息如O1s、C1s等等，点击其中一个，点Apply，峰就被标记出来，这样标记完所有重要而又明显的峰后，再次点击Options →Elements→Periodic table→Clear all elements， 峰归属与标记就完成了。然后点击Options → Tile display，出现Tile display parameter窗口，点Display，该窗口的最下面有Title，在空白框里输入想命名的英文文件名，如GaN1 wide ，最后就得到图1. （2）元素含量分析 含量分析步骤 补充说明 图3元素含量和峰重合，看不清，怎样将它们分开