- 1、本文档共29页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
电镜的分辨率
典型值: 100KV 波长 0.0037nm
200KV 0.00251nm
300KV 0.00197nm
综上所述:
提高加速电压,缩短电子波长,提高电镜分辨率;
加速电压越高,对试样的穿透能力越大,可放宽对样品的减薄要求。
如用更厚样品,更接近样品实际情况。
电子波长与可见光相比,相差105量级
2电磁透镜
透射电子显微镜中用磁场来使电子波聚焦成像的装置是电磁透镜,
磁透镜:能产生旋转对称非均匀磁场的磁极装置
3像差
?球差
球差即球面像差,是磁透镜中心区和边沿区对电子的折射能力不同引起的,其中离开透镜主轴较远的电子比主轴附近的电子折射程度更大。
球差最小散焦斑的半径在原物面上的折算值如下:
?像散
由于电磁透镜的周向磁场不非旋转对称引起像散。使用消像散器
极靴内孔不园;上下极靴不同轴;极靴物质磁性不均匀;极靴污染
透镜磁场的这种非旋转性对称使它在不同方向上的聚焦能力出现差别,物点P通过透镜后不能在像平面上聚焦成一点,而是形成一散焦斑,
其最小散焦斑在原物面的折算半径值如下
? 色差
电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的。若入射电子的能量出现一定的差别,能量大的电子在距透镜光心比较远的地方聚焦,而能量低的电子在距光心近的地方聚焦,由此产生焦距差。像平面在远焦点和近焦点间移动时存在一最小散焦斑RC
稳定电源
把散焦斑的半折算到原物面的半径
电磁透镜的分辨率主要由衍射效应和像差来决定. 像差决定的分辨率主要是由球差决定的
4. 景深Df 焦长DL
,
取 Δr0=1 nm, (=10-2~10-3rad
则 Df = 200~2000nm
取Δr0=1 nm, α=10-2rad;
若 M=200, DL=8 mm;若 M=20000,DL=80 cm
5,
6. 聚光镜
从电子枪发射出的电子束,束斑尺寸大,相干性差,平行度差,为此,需进一步会聚成近似平行的照明来,这个任务由聚光镜实现,通常有两级聚光镜来聚焦。
C1—为强磁透镜,
C2—弱磁透镜,长焦,小α。
为了调整束斑大小还在C2聚光镜下装一个聚光镜光栏。通常经二级聚光后可获得几um的电子束斑。
同时,为了减小像散,在C2下还要装一个消像散器,以校正磁场成轴对称性的。
电子枪还可以倾斜2—30,以实现中心磁场成像。
7. 成像系统
组成:由物镜、物镜光栏、选区光栏、中间镜(1、2)和投影镜组成
样品室:平移、倾转样品、低背景样品台、拉神台、加热台、低温
8. 物镜:强励磁短焦透镜(f=1-3mm),放大倍数100—300倍。
作用:形成第一幅放大像
物镜光栏:装在物镜背焦面,直径20—120um,无磁金属制成。
作用:a.提高像衬度,b.减小孔径角,从而减小像差。c.进行暗场成像
选区光栏:装在物镜像平面上,直径20-400um,
作用:对样品进行微区衍射分析。
中间镜:弱压短透镜,长焦,放大倍数可调节0—20倍
作用:a.控制电镜总放大倍数,b.成像/衍射模式选择。
投影镜:短焦、强磁透镜,进一步放大中间镜的像。投影镜内孔径较小,使电子束进入投影镜孔径角很小。
?小孔径角有两个特点:
景深大,改变中间镜放大倍数,使总倍数变化大,也不影响图像清晰度。
焦深长,放宽对荧光屏和底片平面严格位置要求。
9. 光阑
透射电镜有三种主要光阑:聚光镜光阑、物镜光阑、选区光阑
聚光镜光阑
作用:限制照明孔径角。在双聚光镜系统中,该光阑装在第二聚光镜下方。光阑孔直径:20-400um,一般分析用时光阑孔直径用200-300um,作微束分析时,采用小孔径光阑
物镜光阑
也称衬度光阑,安装于物镜后焦面。光阑孔径20-120um
功能与作用:
提高像衬度;
减小孔径角,从而减小像差;
进行暗场成像;
选区光阑
为了分析样品上的微区,应在样品上放置光阑来限定微区,对该微区进行衍射分析叫做选区衍射。该光阑是选区光阑,也称限场光阑或视场光阑。
因为要分析的微区很小,要做这样小的光阑孔在技术上有难度,也很容易污染,因此选取光阑都放置在物镜的像平面位置。可以达到放置在样品平面上的效果,但光阑可以做的更大些。
10. 主要性能参数
分辨率;放大倍数;加速电压
11. 样品的要求:
观察区
您可能关注的文档
- 先进制造技术试题库与答案解析.doc
- 先进制造技术在汽车上的应用解析.doc
- 先烈东小学数学科组相关制度解析.doc
- 先天性心脏病和心肌病解析.doc
- 先闻钢结构绘图软件-门刚拆图工具使用手册解析.doc
- 先张法预应力混凝土实心方桩解析.doc
- 先斟满自己的杯子解析.doc
- 纤维性质对成纸性能的影响解析.doc
- 氙灯试验控制器操作手册解析.doc
- 鲜中药种植远程视频系统解决方案-1229解析.doc
- 给荔红简约中国风员工述职报告.pptx
- 2023门窗行业招商加盟数据分析报告.pdf
- 《基于基因表达数据的胰腺癌预后研究现状综述》3900字.docx
- 《连云港美致医疗器械公司员工激励问题及对策分析》9300字.docx
- 《惠州名道时尚武夷岩茶股份有限公司企业文化建设研究》9000字.docx
- 2024年02月中国共产党崇左市委员会党史研究室(广西)2024年招考1名编外工作人员笔试参考题库后附答案详解.docx
- 2024年02月中共清远市委办公室(广东)2024年公开选调2名公务员笔试参考题库后附答案详解.docx
- 2024年02月中共雅安市雨城区委组织部2024年公开考核招考4名高层次人才笔试参考题库后附答案详解.docx
- 2024年02月中国基本建设优化研究会2024年招考笔试参考题库后附答案详解.docx
- 2024年02月中国伊斯兰教协会2024年度面向社会公开招考2名工作人员笔试参考题库后附答案详解.docx
文档评论(0)