MEMS封装用胶点2012__12.ppt

宝山壁画 宝山壁画是引人注目的昂贵文物。此壁画发现于阿鲁科尔沁旗东沙布乡境内。1994年列为“全国十大考古新发现”之一。宝山壁画中最引人注目的是《杨贵妃教鹦鹉图》。该画高0.7米、宽2.3米，用于笔重彩绘制，最突出的表现了 晚唐风格。唐代擅长绘贵妇仕女的大师周昉绘制了《杨贵妃教鹦鹉图》，不仅享誉中原，而且还影响全国各地。发现于阿旗宝山古墓里的这幅画，就是契丹人聘请中原画家按照周氏风格绘制的， 技法深得周氏画风的真传。在唐人真迹稀如星风的今天，能够从中完整了解唐代人物画的杰出成就，堪称美术史研究的辛事。这幅壁画现今保存在阿鲁科尔沁旗博物馆，历经千年，恍如新绘，是该馆的镇馆之宝。 欢迎大家观看！ 以意法半导体的MEMS陀螺仪为例，其核心元件是一个微加工机械单元，在设计上按照一个音叉机制运转(音叉机制的工作原理是通过安装在音叉基座上的一对压电晶体使音叉在一定共振频率下振动，当音叉开关的音叉与被测介质相接触时，音叉的频率和振幅将改变，音叉开关的这些变化由智能电路来进行检测，处理并将之转换为一个开关信号)。电机驱动部分通过静电驱动方法，使机械元件前后振荡，产生谐振，利用科里奥利力把角速率转换成一个特定感应结构的位移，两个正在运动的质点向相反方向做连续运动。只要从外部施加一个角速率，就会出现一个力，力的方向垂直于质点的运动方向。 三轴陀螺仪MEMS细致结构 200um尺度显微照 公开的MEMS陀螺仪均采用振动物体传感角速度的概念。利用振动来诱导和探测科里奥利力而设计的MEMS陀螺仪没有旋转部件、不需要轴承，已被证明可以用微机械加工技术大批量生产。? 四、MEMS 陀螺仪 package封装用胶点：（典型封装方式LGA和QFN，ASIC和MEMS Die一般都设计为叠加） ASIC和MEMS Die叠加： ASIC与基板粘结：用7920或环氧胶（胶层要薄，控制在15um以下，方便后道打金线） MEMS Die to ASIC 粘结：用7920（胶层要后，控制在50um以上，提升MEMS Die抗震抗噪及免受应力影响）； 1、MEMS Die微结构决定了本身能承受的外力非常低，即要求Die attach胶应力尽可能低，同时满足MEMS Die底部粘结强度（容易满足）； 2、杨氏模量（即弹性模量），它是沿纵向的弹性模量，也是材料力学中的名词。1807年因英国医生兼物理学家托马斯·杨(Thomas Young, 1773-1829) 所得到的结果而命名。根据胡克定律，在物体的弹性限度内，应力与应变成正比，比值被称为材料的杨氏模量，它是表征材料性质的一个物理量，仅取决于材料本身的物理性质。杨氏模量的大小标志了材料的刚性，杨氏模量越大，越不容易发生形变。 3、线性应力计算：σ（正应力）＝E（杨氏模量）*ε（ 线性应变= ） 4、MEMS标准工作温度： -40-100°C； MEMS Die 对Die attach胶要求 MEMS Die attach胶选型对比 PROPERTIES Silicone不导电 Epoxy不导电 Epoxy导电 7920 DA 6501 Ablebond 2025DSI Ablebond 84-1LMI Color Back Translucent Red Silver Durometer 71A 31A 　 　 Viscosity（cps) 21000 7300 11500 30000 Working Time RT 24hrs 24hrs 24hrs 2weeks Heat Cure Time 30mins@150°C 3mins@150°C 30min ramp to 175°C+30min@175°C 60mins@150°C Unprimed Adhension Lap Shear（psi） 1000 80 38000 38000 Specific Gravity 1.2 1 1.5 3 Volume Resistivity ohm-cm 2.1E+15 2.7E+16 2.1E+15 5.00E+04 Dielectric Strength volts/mil 450 625 260 　 Youngs Modulus(Mpa) 5.5 0.9 3000/6 3000 CET（膨胀系数，PPM） 240 300 60/145 55 TG -110°C -110°C -34°C 103°C σ（正应力） 34.5 6 11700/31.8 11400 price（RMB） 20-30/g 120-150/g 15-20/g 40-50/g 1、在MEMS工作温度下：Silicone类Die attach胶应力远低于Epoxy类Die attach胶，