蚀刻补偿暂行设计准则解析.docVIP

分發 單位 簽名 分發 單位 簽名 暫行設計準則 申 請 表 (一) 文件編號 CM/CA 170 CM/CAP11 適用製程單元 all CAJ00 ( CM/CA P12 CM/CA J10 CA P13 適 用 廠 區 □CM廠 ■CA廠 CM/CA J20 CM/CA N00 CM/CAJ30 CM/CA N10 1.有效日期：自2009年 11 月4 日 起 至 2010 年 2 月 4日 止 (三個月內) CM/CA J50 CM/CA N50 ( CM/CA P00 CM/CA N60 ( CM P01 CA N90 暫行設計準則名稱 CA次外層/外層底片設計暫行準則 制定日期 09年11 月 4日 正式設計準則名稱 CA次外層/外層底片設計準則 修訂日期 年 月 日 ■現行無設計準則 □現行設計準則不適用 □補充現行設計準則之不足處 未核准說明欄： 暫行設計準則對舊生產工具的處理方式說明(請就以下項目作勾選及說明)： ▓目前WIP的處理方式。請說明：以共同性ECO更改 ▓舊料號列管或更新的方式。請說明：以共同性ECO更改 □需由設計單位優先更新的料號種類。請說明： □舊料號需更新的範圍及Sorting的