高精度子孔径拼接中参考面误差的去除方法.pdfVIP

第 卷第 期 年 月 43 4 红外与激光工程 2014 4 Vol.43 No.4 Infrared and Laser Engineering Apr.2014 高精度子孔径拼接中参考面误差的去除方法 邓万涛 ，汪凯巍 ，白 剑 ，张金春 (浙江大学 现代光 学仪 器 国家重点 实验 室 ，浙江 杭 州 310027) 摘 要： 基 于最小二乘拟合的传统干涉子孔径拼接方法实现 了小口径干涉仪对大 口径光学元件的检测 ， 然而在子孔径测试过程 中，由于干涉仪上的参考面存在 面形误差 ，将使获得的各子孔径的面形数据偏 离真 实值 ，所以在进行 高精度面形测量时，获得参考面的面形误差并将其补偿掉是非常必要的。 因此 ，提 出了一 种在拼接过程 中用 Zernike 项对子孔径 间重叠区域数据进行拟合的方法来求得参考面面形。首先在传统的 目标 函数上加入一 系列 Zernike 项表征待求参考面， 然后按照最小二乘法对函数进行求解得到各项 系数 ， 从 而得到拟合的参考面。 对平面和球 面分别进行 了子孔径拼接 实验 ，拟合得到的参考面面形与 QED 拼接 干涉仪计算得到的参考面面形的 PV 值偏差小于 5 nm ，RMS 值偏差小于 0.2 nm ，拼接后的重叠区域不 匹配 误差值 小于 10 nm 。 实验结果表 明，在子孔径拼接过程 中可以补偿参考面误差而得到更真实的拼接 面形。 关键词： 光学检测； 子孔径拼接 ； Zernike 拟合 ； 误差补偿 中图分类号：TH741 文献标志码： A 文章编号： 1007-2276(2014)04- 1194-06 Elimination of reference surface error on high-accuracy subaperture stitching Deng Wantao, Wang Kaiwei, Bai Jian , Zhang Jinchun (State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation , Zhej iang University , Hangzhou 310027, China) Abstract : Sub -aperture stitching can be used to measure large optical aperture with a relatively smaller aperture interferometer . In the process of sub -aperture testing, if reference surface error is taken into consideration , the stitching result will deviate from truth . As a result , obtaining and compensating reference surface error is necessary . An approach was proposed to obtain and compensate reference surface error by fitting overlap data of each sub -aperture wi