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第44卷第10期 红外与激光工程 2015年10月 Vol.44No.10 InfraredandLaserEngineering Oct.2015 玻璃基片上双层多模光波导的制备 1 2 2 1 1 1 1 郝寅雷 ，曾福林 ，王志坚 ，胡文学 ，陈斯聪 ，杨建义 ，王明华 (1. 浙江大学 信息与电子工程学院，浙江 杭州 310027； 2. 中兴通讯股份有限公司，广东 深圳 518057) 摘 要院在光学玻璃基片上制作了双层掩埋式多模光波导芯片，这种芯片中的上、下两层光波导均通 过熔盐离子交换和电场辅助离子迁移形成。对光波导的横截面以及输出光斑进行了观察，并进行 了损耗和串扰测试。研究结果表明：双层多模光波导芯片中上、下两层光波导芯部横截面尺寸分别为 29滋m伊19滋m和31滋m伊20滋m；两层波导的输出光斑尺寸相互匹配；两层波导传输损耗分别为1.00依 0.32dB/cm和0.78依0.35dB/cm；两层光波导之间的串扰在17.7dB左右。这种玻璃基片上的双层多模 光波导可以使板级光互连的互连密度增大一倍，提高EOCB 的性能。 关键词院玻璃； 离子交换； 多模光波导； 光互连 中图分类号院TN256 文献标志码院A 文章编号院1007-2276(2015)10-3000-05 Manufacturing of double鄄layered multimode optical waveguides in glass substrate 1 2 2 1 1 1 1 Hao Yinlei, Zeng Fulin, Wang Zhijian, Hu Wenxue, Chen Sicong, Yang Jianyi, Wang Minghua (1. College of Information Science Electronic Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China; 2. Zhongxing Telecommunication Equipment Corporation, Shenzhen 518057, China) Abstract: Double鄄layered multimode waveguides were fabricated in optical glass substrate, each layer being formed by melt salt ion鄄exchange (IE), and subsequent field鄄assisted ion鄄migration (FAIM). Characterization of the double鄄layered waveguide chips were performed by microscopic observation of waveguide cross鄄section, output pattern observation, and insertion loss and crosstalk measurement. Results shows that dimensions of waveguides core at top layer and bottom layer core are respectively 29 滋m伊