压电气体混合驱动式喷射点胶阀的设计和实验.pdfVIP

第３４卷第 １１期　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 哈　 尔　 滨　 工　 程　 大　 学　 学　 报　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 Ｖｏｌ．３４ №．１１ ２０１３年１１月　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｈａｒｂｉｎ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 Ｎｏｖ．２０１３ 压电气体混合驱动式喷射点胶阀的设计与实验 焦晓阳，刘建芳，丁宁宁，路崧 （吉林大学机械科学与工程学院，吉林 长春 １３００２２） 摘　 要：为了实现压电喷射点胶，使压电喷射技术能广泛地应用到电子封装产业中，设计了一种压电／ 气体混合驱动式非 接触喷射点胶阀．介绍了该点胶阀的工作原理，利用ＦＬＵＥＮＴ动网格技术分析了阀杆行程与胶液实现喷射的关系，通过 实验得到了影响点胶阀点胶质量的因素．实验选用直径为０．３ ｍｍ 的钨钢喷嘴，实现了５ ０００ ｍＰａ ·ｓ 中高粘度环氧树脂 胶结剂的喷射点胶，获得胶点最小直径为０．５ ｍｍ，点胶频率可达 １２０ Ｈｚ，胶点一致性误差在５％以内． 关键词：微电子封装；喷射点胶；微位移放大；压电叠堆；流场分析 ｄｏｉ：１０．３９６９／ ｊ．ｉｓｓｎ．１００６⁃７０４３．２０１２１００７４ 网络出版地址：ｈｔｔｐ：／ ／ ｗｗｗ．ｃｎｋｉ．ｎｅｔ／ ｋｃｍｓ／ ｄｅｔａｉｌ／ ２３．１３９０．Ｕ０８３９．０１０．ｈｔｍｌ 中图分类号：ＴＮ４０５　 文献标志码：Ａ　 文章编号：１００６⁃７０４３（２０１３）１１⁃１４４５⁃０５ Ｄｅｓｉｇｎａｎｄｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｆｏｒｔｈｅｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ⁃ｇａｓｈｙｂｒｉｄｄｒｉｖｅｎｊｅｔ ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇｖａｌｖｅ ＪＩＡＯ Ｘｉａｏｙａｎｇ，ＬＩＵＪｉａｎｆａｎｇ，ＤＩＮＧ Ｎｉｎｇｎｉｎｇ，ＬＵ Ｓｏｎｇ （Ｃｏｌｌｅｇｅ ｏｆ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｊｉｌｉｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ １３００２２，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｃｏｎｓｉｄｅｒｉｎｇ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ ｍａｔｅｒｉａｌｓ ｃａｎ ｂｅ ｕｓｅｄ ｆｏｒ ｊｅｔ ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ ａｎｄ ｃａｎ ｂｅ ｗｉｄｅｌｙ ａｐｐｌｉｅｄ ｉｎ ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓｐａｃｋａｇｉｎｇ，ａｎｅｗ ｔｙｐｅｏｆ ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ／ ｇａｓｈｙｂｒｉｄｄｒｉｖｅｎｎｏｎ⁃ｃｏｎｔａｃｔｊｅｔ ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇｖａｌｖｅｈａｓｂｅｅｎ ｄｅｖｅｌｏｐｅｄ． Ｔｈｉｓ ｐａｐｅｒ ｅｘｐｏｕｎｄｓｕｐｏｎｔｈｅｗｏｒｋｉｎｇｐｒｉｎｃｉｐｌｅｓｏｆ ｔｈｅｖａｌｖｅ，ａｎｄｕｓｅｓＦＬＵＥＮＴ ｄｙｎａｍｉｃｇｒｉｄｔｅｃｈｎｏｌ⁃ ｏｇｙ ｔｏ ａｎａｌｙｚｅｔｈｅｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｐ ｂｅｔｗｅｅｎｔｈｅｖａｌｖｅｒｏｄ ｓｔｒｏｋｅ ａｎｄｔｈｅ ｇｌｕｅ ｓｏｌｕｔｉｏｎｔｏｒｅａｌｉｚｅ ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ．Ｔｈｒｏｕｇｈ ｔｈｅ ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔ，ｔｈｅ ｆａｃｔｏｒｓｗｈｉｃｈ ａｆｆｅｃｔｔｈｅｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ ｑｕａｌｉｔｙ ｏｆ ｔｈｉｓｖａｌｖｅｗｅｒｅｏｂｔａｉｎｅｄ．Ｔｈｅ５０００ ｍＰａ ·ｓｈｉｇｈｖｉｓ⁃ ｃｏｓｉｔｙ ｅｐｏｘｙ ｒｅｓｉｎ ｇｌｕｅｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇｗａｓｒｅａｌｉｚｅｄｗｉｔｈｔｕｎｇｓｔｅｎｓｔｅｅｌｗｈｉｃｈｈａｓａｎｏｚｚｌｅｄｉａｍｅｔｅｒｏｆ０．３ｍｍｗｈｉｃｈｗａｓ ｓｅｌｅｃｔｅｄ． Ｔｈｅ ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｍｉｎｉｍｕｍ ｄｉａｍｅｔｅｒ ｏｆ ｔｈｅ ｇｌｕｅ ｄｏｔ ｉｓ ０．５ ｍｍ，ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ ｒｅａｃｈｅｓ １２０ Ｈｚ，ａｎｄ ｔｈｅ ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔ ｅｒｒｏｒ ｒａｔｅ ｏｆ ｔｈｅ ｇｌｕｅ ｄｏｔ ｉｓ ｕｎｄｅｒ ５％． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ｐａｃｋａｇｉｎｇ；ｊｅｔ ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ； ｍｉｃｒｏ⁃ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ａｍｐｌｉｆｉｅｄ； ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ ｓｔａｃｋ； ｆｌｏｗ ｆｉｅｌｄ ａｎａｌｙｓｉｓ 　 　 随着微电子技术的发展，流体点胶技术在微电