大尺寸SIC空间反射镜离子束加工热效应分析和抑制.pdfVIP

43 卷 8 期 红外与激光工程 2014 年8 月 Vol.43 No.8 Infrared and Laser Engineering Aug.2014 大尺寸SIC 空间反射镜离子束加工热效应分析与抑制 1 1,2 1 1 许艳军 , 赵宇宸 ，沙 巍 ，齐 光 (1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033) 2. 中国科学院大学，北京 100049) 摘 要 离子束加工中从离子源射出的高速离子撞击光学反射镜表面，离子的动能转化成热能以及中 和灯丝的热辐射作用，使反射镜温度急剧升高。反射镜温升过快，会导 柔性连接结构胶结部位发生不 可逆的非线性变化，并且热膨胀使实际加工位置和理想加工位置发生偏移，增加了加工误差，因此需要 对加工过程中产生的热效应进行抑制。提出了通过规划加工路径和增强散热的方法，增强加工过程的散 热，控制反射镜的温度。针对600 mm伊260 mm 的某主反射镜，对增强散热前后不同加工路径的离子束加 工进行了研究和有限元分析。分析表明：加工路径的选择、增强散热对反射镜的温度分布有较大影响，增 强散热前，采用横栅格加工路径，反射镜最高温度为35.8 益，对应全口径PV= /5 ，采用分区纵栅格加工 路径，反射镜最高温度则达到 52 益 ，PV= / 10。增强散热后，不同加工路径离子束加工中，反射镜温度 均有所下降，采用横 栅格加工路径反射镜温度最高为28.2 益，对应全口径PV= /20，采用分区纵栅格 加工路径反射镜温度最高为41 益，PV= /7 。通过对比，最终采用增强散热的横栅格加工路径的加工方 式。对优选的加工路径进行了试验验证，试验结果与仿真结果一 。结果表明：优化加工路径，增强散热 措施能够抑制离子束加工的热效应，为离子束加工热效应抑制提供理论基础。 关键词 空间反射镜； 离子束加工； 热效应； 抑制 中图分类号 TH703 文献标志码 A 文章编号 1007-2276(2014) 08-2556-06 Analysis and suppression of thermal effects of ion beam processing for large size SIC space mirror 1 1,2 1 1 Xu Yanj un , Zhao Yuchen , Sha Wei , Qi Guang (1. Changchun Institute of Optics , Fine Mechanics and Physics , Chinese Academy of Sciences , Changchun 130033, China)