金砷蒸发料有色金属行业标准课程.docVIP

ICS 77.120.99 H 68 YS/T ××××－201× 金砷蒸发料 Gold-Arsenic for evaporating （初审稿） 201×-××-××发布 201×-××-××实施 GB/T XXXX-2012 前 言 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）负责归口。 本标准起草单位：北京达博有色金属焊料有限责任公司。 本标准主要起草人： 金砷蒸发料 范围 本标准规定了蒸发金砷的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本标准主要适用于制造半导体器件用芯片时背金用蒸发金砷。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T　1066.5 金化学分析方法 GB/T 3884.9 光度法测定砷量化学分析方法 GB/T　15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法。 GB/T　18035 贵金属及其合金牌号表示方法 3 要求 3.1 产品分类 3.1.1蒸发金砷产品按化学成分分为Z-Au 99.80 As 和Z-Au 99.50 As两种牌号。 3.1.2蒸发金砷产品主要以柱状和线盘状为主，产品形状及供货状态应满足表1的要求。需方有其他要求时由供需双方协商解决。 表1 形状 定 义 供货状态 柱状 直径为0.5mm～8mm、长度为2mm～100mm的线材 硬态 线盘状 直径为0.5mm～2mm、重量在100g～500g的线材盘成线盘状为主，线盘直径一般为100mm～300mm 3.2 产品标记示例 3.2.1 柱状蒸发金砷标记为： Z-Au 99.80 As，ф□ ×□ mm 示例：Z-Au 99.80 As，ф2×3mm 直径为2mm、长度为3mm、成分为99.80%的柱状蒸发金砷产品 3.2.2蒸发金砷线盘状产品标记为： Z-Au 99.80 As，ф□mm， □ g/线盘 示例：Z-Au 99.80 As，ф0.5mm，100g/盘 线径为0.5mm、每盘100g 重量的线盘状蒸发金砷产品 3.3化学成分 产品化学成分应符合表2的要求，其中金质量分数为100%减去表中规定的杂质实测值的总和而得。需方对某种特定杂质元素含量有要求的，按供需双方协商进行。 表2 单位为质量百分数 牌号 Au ，% 不小于 杂质含量， 不大于 As Ag Cu Fe Pb Bi Sb Si W-Au99.80As 余量 0.20±0.02 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001 W-Au99.50As 余量 0.50±0.05 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001 牌号 Au ，% 不小于 杂质含量， 不大于 Pd Mg Sn Cr Ni Mn 总量 W-Au99.80As 余量 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001 0.01 W-Au99.50As 余量 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001 0.0001 0.01 3.4尺寸及允许偏差 3.4.1产品形状如图1所示，柱状产品的尺寸及允许偏差应符合表3和表4的要求；线盘状产品的长度偏差及线盘的直径不做要求，以需方要求的每盘重量范围为主协商解决。 图1 蒸发金砷产品图 表3直径允许偏差 单位为毫米 直 径 直径允许偏差 ≥0.10 ±0.01 ≥1.00 ±0.08 ≥3.0 ±0.08 ≥5.0 ±0.09 ≥6.0 ±0.09 ≥7.0 ±0.1 ≥8.0 ±0.1 表4 长度允许偏差