中级工程师职称论文：半导体工厂厂务监控系统讲解.docVIP

半导体工厂厂务监控系统 xx xx有限公司 摘要：厂务监控系统即FMCS 是Facility Monitoring Control System 的缩写 ，半导体（包含平板显示、光伏、LED等）行业对生产环境、动力供应的品质要求极为苛刻，于是业界大多采用以可编程控制器PLC(Programmable Logic Controller)为核心构建的监控系统。本文以西门子S7-400PLC为例，介绍了厂务监控系统的结构组成、工作原理等。 关键词：FMCS、PLC、执行组件、传感器、上位机 FMCS和PLC介绍 半导体工厂的FMCS一般是用中大型PLC作为核心，配上传感器、执行组件、上位机等设备进行控制和监控。要清楚了解FMCS就有必要知道PLC的一般知识。可编过程控制器（PLC）也是一种数字运算操作的电子系统，专为在工业环境下应用而设计。它采用可编程序的存贮器，用来在其内部存贮执行逻辑运算、顺序控制、定时、计数和算术运算等操作的指令，并通过数字的、模拟的输入和输出，控制各种类型的机械或生产过程。 通常FMCS所用的模块式PLC包括CPU模块、I/O模块、内存、电源模块、底板或机架、通讯模块等，这些模块可以按照一定规则和需求组合配置 。 西门子PLC系统的采用Profibus现场总线来连接CPU、子站、通讯设备等，现场的执行组件、传感器等就近接入各个子站内的I/O模块，这样可以最大限度的减少现场接线工作，并且因为走线距离短，可以减少信号衰减和各种干扰对信号的影响。 下图是一个典型的FMCS系统结构图： FMCS的组成和运行方式 一套厂务监控系统，将全厂的动力系统、辅助设备的工作状态以及生产环境等参数集中监视起来，使设备管理人员能够及时了解设备状况及生产情况，从而能够及时调整运行参数、保证生产环境，排除设备隐患，使产能和质量充分得到保证。 1、信号组成1 M D) z/ a7 f z( e　　厂务系统主要包括生产辅助设备及辅助条件,这里不包括产品的直接生产设备。具体如下：3 _, ]) u$ \+ _??}　　a、工厂配电设备. J7 J0 o??Z/ w; `　　b、负责在冬天保持环境温度的热水系统. r! b( I0 o0 W: ~! M4 ~　　c、负责在夏天平抑环境温度的空调系统! T D; X2 h3 A　　d、冷却水及冷冻水系统, [) i! u/ J( C l% i1 L2 a. Y7 R　　e、为保持空气温度及相对湿度而建立的新风系统. ]$ |$ r `9 J: J3 D @　　f、生产设备所需的压缩空气! z; B+ G+ U: ~??b2 I4 p! S, N　　g、生产设备所需的纯水( f3 ^ G2 T9 q　　h、消防系统 i、生产所需的气体、化学品供应系统 j、生产产生的废水、废气处理系统. c9 c( n. o/ C n; d　　以上系统所需采集的信号大致可分为以下几种：, E: S8 }3 h2 y7 r, @( B( H- 　　a、压力、压差、真空度信号??E6 K4 d1 ?: M: [( k, Q0 A2 b　　b、流量信号 Q* a/ o+ Q1 f% X# `5 A　　c、液位信号3 {; G3 X f5 E$ `. Y　　d、温度信号, B* N) U# F) R: h z) o; ^5 l　　e、湿度信号0 d7 t K }7 Q* c- m　　f、露点信号7 e; s- s2 }( q) `　　g、电压，电流，频率信号3 ^$ C6 Q+ |1 k9 Z- m　 h、功率，功率因数，电量信号 i、设备状态信号, j、重量信号 k、电导率、电阻率、PH值信号 i、气体浓度、液体浓度信号 系统需要输出的信号大致如下： 设备启停信号 阀门开启、开度信号 电机频率信号 2、网络结构及网络特性9 g! j2 [5 Z: K4 D: H! W2 C　　监控系统有大量的信号需要传输，因此必须要有通讯能力强大、稳定性好的通讯网络。西门子PLC监控系统主干网络采用Profibus网络，Profibus现场总线网络共有三种协议方式，分别为FMS,DP和PA。一般应用的为DP方式。DP网络结构为主从结构，一条DP网可包含一个主站和最多126个从站，网络传输距离在不使用中继器的情况下可达到1000米，传输速率从9.6Kbit/S一直到12Mbit/S可选。网络传输速率达到12Mbit/S 时其传输距离最长为100米。, h! X0 V4 n a　　 XX公司厂务监控系统的Profibus DP主站为S7-400PLC，从站是分布于全厂的8个ET200M子站，它们之间通过标准的Profibus通讯电缆（屏蔽双绞线）连接，其中由于第5与第6和第7号站之间的距离比较远，为保