耐磨涂层大学生学位论文.docVIP

目　录 摘　要 I ABSTRACT III 第一章　绪　论 1 1.1　选题的意义 1 1.2　耐磨涂层的制备技术 2 1.2.1　化学气相沉积 2 1.2.2　物理气相沉积 2 1.3　耐磨涂层的发展现状 5 1.3.1　硬涂层 5 1.3.2　软涂层 7 1.3.3　硬软复合涂层 9 1.4　耐磨涂层的作用机理和影响因素 9 1.4.1　刀具磨损的原因 9 1.4.2　耐磨涂层的作用机理 9 1.4.3　影响涂层刀具性能的因素 10 1.5　本课题的背景和由来 11 1.6　本课题的研究内容 11 第二章　实验方法及原理 13 2.1　磁控溅射离子镀原理与设备 13 2.1.1　磁控溅射离子镀原理 13 2.1.2　磁控溅射离子镀偏置基体的伏安特性 13 2.1.3　封闭场非平衡磁控溅射离子镀设备 15 2.2　涂层试样的制备 16 2.2.1　基体材料的选取与基体预处理 16 2.2.2　涂层沉积工艺设计 16 2.3　涂层性能测试 19 2.3.1　涂层厚度的测量 19 2.3.2　涂层硬度的测试 19 2.3.3　涂层附着性的测试 20 2.3.4　涂层摩擦性能的测试 21 2.4　涂层成分及组织结构分析 22 第三章　多元氮化物涂层的结构和性能研究 23 3.1　多元氮化物涂层的性能测试结果 23 3.1.1　多元氮化物涂层的厚度 23 3.1.2　多元氮化物涂层的硬