特殊气体供应系统精要.pptVIP

unique id: 086465 Documentum\SMIC-IP(Aug2001)(Scn).ppt * * SMIC Confidential * * 086465 特殊气体介绍 Pressure unit: （压力单位） psig—表压，psia—绝对压力 psia=psig+14.7 1bar=105Pa=1.0197Kg/cm2=14.504psi=0.987atm 1atm=14.7psi Flow rate unit:（流量单位） sccm—毫升/分钟 slpm—升/分钟 1slpm=1000sccm S表示标准状态，即：1大气压，20 ℃。 Weight unit:（重量单位） 1Kg=2.2Lbs 压力 / 重量单位 化学品及企业标识 : 化学品名称, 企业名称,企业应急电话等 危险性概述 : 危险性类别(8大类)，侵入途径，健康危害等 急救措施 : 皮肤接触，眼睛接触，吸 入等 消防措施 : 危险特性，有害燃烧产物，灭火方法及灭火剂，灭火注意事项等 泄露应急处理 : 应急处理和消除方法等 操作处置与储存: 操作注意事项，储存注意事项等 接触控制/个体防护: 最高容许浓度TLV，呼吸系统防护,眼睛防护，身体防护等