通过JSM-6380LA型扫描电镜和JED-2300型能谱仪对氧化铝非导电化合物进行高真空、低真空下形貌观察及成分检验教程解析.docx

目 录  TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc369031834 摘 要  PAGEREF _Toc369031834 \h - 1 - HYPERLINK \l _Toc369031835 1 前 言  PAGEREF _Toc369031835 \h - 2 - HYPERLINK \l _Toc369031836 1.1研究背景与意义  PAGEREF _Toc369031836 \h - 2 - HYPERLINK \l _Toc369031837 1.2扫描电子显微镜SEM的工作原理与结构简介  PAGEREF _Toc369031837 \h - 2 - HYPERLINK \l _Toc369031838 1.2.1电子束的发射  PAGEREF _Toc369031838 \h - 2 - HYPERLINK \l _Toc369031839 1.2.2电镜的光阑作用与偏转扫描系统  PAGEREF _Toc369031839 \h - 2 - HYPERLINK \l _Toc369031840 1.2.3电子束激发出的信号类型及作用  PAGEREF _Toc369031840 \h - 2 - HYPERLINK \l _Toc369031841 1.2.4信号的接收与处理  PAGEREF _Toc369031841 \h - 2 - HYPERLINK \l _Toc369031842 1.2.5 EDS的原理介绍  PAGEREF _Toc369031842 \h - 2 - HYPERLINK \l _Toc369031843 2 实验内容及方法  PAGEREF _Toc369031843 \h - 3 - HYPERLINK \l _Toc369031844 2.1试验材料及试样制备  PAGEREF _Toc369031844 \h - 3 - HYPERLINK \l _Toc369031845 2.2非导电化合物的SEM观察实验  PAGEREF _Toc369031845 \h - 3 - HYPERLINK \l _Toc369031846 2.3非导电化合物的EDS分析  PAGEREF _Toc369031846 \h - 4 - HYPERLINK \l _Toc369031847 3 实验数据与分析  PAGEREF _Toc369031847 \h - 5 - HYPERLINK \l _Toc369031848 3.1高真空SEM试验参数对分辨率的影响结果及讨论  PAGEREF _Toc369031848 \h - 5 - HYPERLINK \l _Toc369031849 3.1.1电子束斑直径对图像分辨率的影响  PAGEREF _Toc369031849 \h - 5 - HYPERLINK \l _Toc369031850 3.1.2加速电压对图像分辨率的影响  PAGEREF _Toc369031850 \h - 6 - HYPERLINK \l _Toc369031851 3.1.3工作距离对图像分辨率的影响  PAGEREF _Toc369031851 \h - 7 - HYPERLINK \l _Toc369031852 3.2低真空SEM对非导电化合物的观察实验  PAGEREF _Toc369031852 \h - 8 - HYPERLINK \l _Toc369031853 3.2.1光阑选择对图像影响  PAGEREF _Toc369031853 \h - 9 - HYPERLINK \l _Toc369031854 3.2.2加速电压对图像分辨率的影响  PAGEREF _Toc369031854 \h - 10 - HYPERLINK \l _Toc369031855 3.2.3电子束斑直径对图像分辨率影响  PAGEREF _Toc369031855 \h - 10 - HYPERLINK \l _Toc369031856 3.2.4真空度对图像分辨率影响  PAGEREF _Toc369031856 \h - 11 - HYPERLINK \l _Toc369031857 3.3特征X射线能谱对非导电化合物的分析  PAGEREF _Toc369031857 \h