平板波导红外光谱仪研究教程分析.docVIP

摘 要 红外光谱仪是用于红外光谱测量与分析的检测仪器，广泛应用于石油化工、生物医学、食品安全和环境监测等领域。在这些应用中很多时候需要体积较小、方便移动的检测仪器用于现场分析。 为了满足这一需求，众多科研机构和企业研制出了多种轻便、紧凑的红外光谱仪。它们中的大部分是通过缩小光学系统的尺寸实现仪器的小型化。这会使光学系统的通光孔径和有效焦距（或动镜移动的距离）都相应减小，导致光谱仪的性能明显下降。相比之下，基于平板波导技术的小型化方法，不仅能够有效地减小光学系统尺寸，而且不会导致光谱仪性能下降，同时系统中没有运动部件，很适合用于设计现场分析用途的小型红外光谱仪。现有的平板波导红外光谱仪中所用的核心部件为平板波导和柱面光栅，其加工难度大、制作成本高，限制了它们的推广。 本论文提出了一种基于中空平板波导的红外光谱仪小型化方法，采用中空平板波导结构和平面光栅分光结构，降低了加工难度和制作成本。通过试验样机的研制和测试，证明了该小型化方法是有效和可行的，所设计的小型红外光谱仪性能能够满足现场分析应用的要求。 本论文的主要研究工作有以下几个方面： 1. 光栅光谱仪理论研究。从光栅光谱仪的工作原理出发，分析了红外光谱仪中使用的红外辐射源和红外探测器的特性；进一步研究了平面衍射光栅的色散性能；根据光栅光谱仪的像差理论，深入分析了光谱带宽和分辨率的影响因素，为平板波导红外光谱仪的研制提供理论依据。