电子显微上课.要点解析.ppt

路漫漫其修远兮，吾将上下而求索 电子显微分析 黄庆利 长度单位与相应的工具 The scale of natural and man-made structures 电子显微分析——透射电子显微镜 1. 透射电镜的一般知识 1.1 什么是TEM? 1.2 为什么要用TEM? 1.3 TEM发展简史 1.1 什么是TEM? 1.2 为什么要用TEM? 1）可以实现微区物相分析。 1.2 为什么要用TEM? 2）高的图像分辨率。 1.2 为什么要用TEM? 3）获得立体丰富的信息。 1.2 TEM的优点 1.3.1 人眼的视觉和分辨率 1.2.2 光学显微镜的分辨率和有效放大 由于光学显微镜的NA的最大值不超过1.5。因此δ的最大值δ =0.45λ，因此光学显微镜的分辨率取决于我们所有光源光波的波长，而可见光的在400~700nm，所以其分辨率一般在250nm即2500?左右，其放大倍数最大只能是1000倍，可见，这是由于光的波长限制了光学显微镜的分辨率，即光的本性决定了光学显微镜的极限放大倍数为1000倍。 为提高显微镜的分辨能力。紫外光的波长（3900～130 ?）小于可见光，然而玻璃不易透过，短波光将被空气所吸收，短波紫外光显微镜必须用曲面镜成像并在真空中操作，而且其分辨能力最多只能提高5倍；X射线波长（100～0.5 ?），比紫外光更短，但X射线通过物体时不产生折射成像，只能通过投影方式成像，因而像的清晰度、放大倍数和分辨能力都受到极大的限制，达不到实用的目的。 1.3.3 TEM发展简史 1924年de Broglie提出波粒二象性假说 1926 Busch指出“具有轴对称性的磁场对电子束起着透镜的作用，有可能使电子束聚焦成像”。 1927 Davisson Germer, Thompson and Reid 进行了电子衍射实验。 1933年柏林大学的Knoll和Ruska研制出第一台电镜（点分辨率50nm, 比光学显微镜高4倍)，Ruska 为此获得了Nobel Prize（1986）。 1949年Heidenreich观察了用电解减薄的铝试样； 1.3 近代TEM发展史上三个重要阶段 像衍理论(50－60年代)： 英国牛津大学材料系 P.B.Hirsch, M.J.Whelan；英国剑桥大学物理系 A.Howie （建立了直接观察薄晶体缺陷和结构的实验技术及电子衍射衬度理论） 高分辨像理论（70年代初）： 美国阿利桑那州立大学物理系J.M.Cowley，70年代发展了高分辨电子显微像的理论与技术。 高空间分辨分析电子显微学（ 70年代末，80年代初）采用高分辨分析电子显微镜（HREM，NED，EELS, EDS）对很小范围（～5?）的区域进行电子显微研究（像，晶体结构，电子结构，化学成分）? 透射电镜主流品牌 世界上能生产透射电镜的厂家不多，主要是欧美日的大型电子公司，德国的蔡（Zeiss），美国的FEI（电镜部门的前身是飞利浦的电子光学公司），日本的日本电子（JEOL）、日立（Hitachi）。 德国的蔡司（Zeiss） 蔡司公司是德国老牌光学仪器公司，光学仪器，如光学显微镜、照相机、以及军事用途的光学瞄准器都是世界一流水平，二战时德国强大的坦克部队都是用的蔡司的瞄准系统，精确度相当的高！虽然蔡司涉足电子光学领域要晚于西门子和飞利浦（西门子和飞利浦分别于1939和1949年造出自己的第一台商业化透射电镜），但其强大的研发和生产能力使其很快在电子光学仪器领域占得了一席之地 Libra200 技术参数：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 LIBRA 200 FE 点分辨率：0.24nm 能量分辨率：＜0.7eV 加速电压：200kv 放大倍率：8-1，000，000x 电子枪：热场发射电子枪 照明系统：Koehler（库勒）（平行束照明系统） 真空系统：完全无油系统 操作界面：基于Windows XP WinTEM 此款电镜带能量过滤器，可以使用能量损失谱对样品的微区进行元素分析。 日本电子（JEOL） 日本电子公司也是与二战后开始的透射电镜研发，其强大的研发能力使其生产出了一系列的优秀产品，其产品在价格上相比欧美产品有较大优势。 产品型号主要为JEM系列。 JEM-3100F 　 技术参数： 点分辨率：0.17nm 线分辨率：0.1nm STEM ：0.14nm 加速电压：300KV 电子枪：肖特基式热场发射枪 亮度：7x108A/cm2sr以上 束流强度：0.5nA 以上/1nm 放大倍数：x60 - x1,500,000 能谱立体角：0.13sr 日立