椭偏仪系列，针对研发领域薄膜、材料分析.doc

椭偏仪系列，针对研发领域薄膜、材料分析 光谱范围: 190-2500 nm 　　SENresearch宽波段光谱椭偏仪系列针对满足现代研究的需求，为任何应用都能够提供出色的测量速度和精确度。 该系列光谱椭偏仪能够测量薄膜厚度，折射率，吸收系数，并能够描述材料性质，如材料组分、折射率梯度、表面和界面粗糙层、各向异性材料和多层膜。 　　SENresearch光谱椭偏仪能够分析并不理想的样品，如退偏效应，非均匀样品，散射和背板反射。SENresearch 由SpectraRay II软件操作, 完善的软件能够测量数据，建模，拟合并作出椭偏测量、反射/透射测量的结果报告。 research系列各型号的光谱范围: 　　步进扫描分析器工作模式，超消色差单色仪，电脑控制起偏器，UV-VIS波段快速二极管/CCD阵列探测器和NIR波段干涉仪调制探测器能提供快速测量和高信噪比，并为任何测量在全部psi,delta范围（0-90 deg (psi) and 0 – 360 deg (delta).）都提供最高的测量精度。 　　SENresearch系列光谱椭偏仪能够测量反射光偏振状态，修正由于非均匀样品、粗糙表面、聚焦角度所导致的退偏效应。并能够分析各向异性样品和材料。 　　SENTECH先进的地貌图扫描选项，支持对复杂多层膜样品在全波段快速测量并分析其均匀性（最小每点5秒）。数据可按照设定的地图图案表现为2D-, 3D-或等高线图，并能够进行全面统计分析。 　　SENresearch 能够测量反射率、透射率。光度测量数据可通过SpectraRay II 软件分析。 可选自动角度计，提供更大范围入射角度(20-90 deg)。可选低温保持器用于温度控制测量。 SENresearch 技术指标: 光谱范围: (* 括号中表示可扩展光谱范围) SE 800: (290) 350 – 850 nm SE 850: (290) 350 – 1700 (2500) nm SE 800 DUV 190 – 950 nm SE 850 DUV 190 – 1700 (2500) nm SE 850 Z (290) 350 – 1700 nm 起偏器/分析器: 电机驱动，步进扫描分析器操作模式 补偿器: 超级消色差补偿器 光源: Xe 灯, 氘灯, 卤素钨灯 (UV-VIS), 卤素钨灯(NIR) 探测单元: 二极管阵列 / CCD 阵列(UV-VIS), FT-IR光谱仪 (NIR) 样品校准: 自动对准镜，高精度校准高度、倾斜度 样品尺寸: 最大300 mm 软件: SpectraRay II 选项: 角度计: 电机驱动 Mapping地貌图扫描: 电机驱动，从50 x 50 mm2 至300 x 300 mm2 微细光斑: 200 μm 光斑直径，或可定制更小值 低温保持器 4 K – 700 K 液体膜测量单元 ?