环形谐振腔分析报告.pptxVIP

环形谐振腔（Ring Resonators);目录 一.基本原理和性能指标 二. 不同结构的环形谐振腔 三.制作工艺及选用材料 四.器件及应用;一.基本原理和性能指标;基本结构包含：输入、输出波导；定向耦合器、多模干涉（MMI）耦合器或Y型耦合器；环形波导 ;?;?;传输矩阵法： ;?;?;图4. 集成光学环形谐振腔的谐振曲线; 图5.简化模型示意图（两个输入、输出波导）;相应参数调整为：;?;性能指标： （1）谐振频率 （m为自然数）； （2）谐振深度 （3） 自由频谱宽度 （4）半高全宽 （5）清晰度;谐振腔基本结构参数对谐振特性的影响： ;参考文献 1. D.G.Rabus, Integrated Ring Resonators, Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2007, P.6-15 2. 王世军, 《集成光学环形谐振腔的研究》, 浙江大学硕士学位论文，2008 ;二.不同结构的环形谐振腔;双谐振腔： ;图13. 具有环形内部耦合的双谐振腔（interring coupling） ;多耦合谐振腔： 5. ;7. ;参考文献 1. D.G.Rabus, Integrated Ring Resonators, Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2007, P.21-44 2. 房丹, 《光纤环形谐振器的技术研究》，长春理工大学硕士学位论文，2009 3. 汤全安，马新宇, 《微型光波导陀螺中无源环形谐振器研究》，光学技术，第5期，1997 4. 韩秀友, 庞拂飞, 蔡海文, 《环形波导谐振腔集成光学器件》, 激光与光电子学进展, 41（8）, 2004 ;三.制作工艺及选用材料;BCB晶圆键合法： ;2. 干法腐蚀（侧向） 又称为等离子体腐蚀，有以下几类等： RIE ICP-RIE RIBE CAIBE;?;?;?;2. 基于Ⅲ—Ⅴ族材料 （1）GaInAsP （2）AlGaAs （3）GaInAsP/InP ;3. 多聚物 ;参考文献 1. D.G.Rabus, Integrated Ring Resonators, Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2007, P.45-115 2. 马慧莲, 金仲和, 丁纯, 《二氧化硅光波导环形谐振腔》, 中国激光, 32（10）, 2005 3. 王善军, 《光纤环形腔特性研究》, 长春理工大学硕士论文，2008 4. 韩秀友, 庞拂飞, 蔡海文, 《环形波导谐振腔集成光学器件》, 激光与光电子学进展, 41（8）, 2004 ;四.器件及应用;图28. 基于SiON的侧向耦合谐振腔;由以上单环滤波器，可构建8通道滤波器，示意图如下： 第一个环半径为10.35μm，其后的单环半径依次???减50nm；不同半径的单环对应不同的波长输出;降低串扰干扰和光谱净化： ;（2）双环滤波器 （3）多环滤波器;2. 光学陀螺 原理：赛格-纳克效应 ;3. 光延时线 ;4. 生物传感器 ;参考文献 1. D.G.Rabus, Integrated Ring Resonators, Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2007, P.130-220 2. 韩秀友, 庞拂飞, 蔡海文, 《环形波导谐振腔集成光学器件》, 激光与光电子学进展, 41（8）, 2004 3. 郭丽君, 石邦任，赵猛, 《集成光学陀螺环形谐振腔的优化设计与制备》, 光电工程，36（8），2009 4. 郭丽君，石邦任，厉宝增, 《微型光学陀螺用光波导环形谐振腔的优化设计与制备》, 兵工学报，31（11），2010 5. 张红星，潘炜，刘新开, 《光子晶体环形谐振器特性研究》, 光通信研究，第167期，2011 6. 姜立国，《环形谐振腔半导体激光器》，长春理工大学硕士论文，2005 7. 邹长铃，董春华，崔金明,《回音壁模式光学微腔：基础与应用》, 中国科学：物理学 力学 天文学，12（11），2012 ;