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纳米电子技术与电子器件 郑丽芬 01/11/10 纳米电子技术与电子器件 纳米技术与纳米电子学 纳米电子器件 纳米电子学中超高密度信息存储 纳米电子学研究的现状发展前景 纳米技术与纳米电子学 发展目标 基础研究 研究中需要解决的课题 发展目标 纳米技术的诞生使人类改造自然的能力直接延伸到原子和分子，其最终目标是直接以原子分子在纳米尺度上制造特定功能的产品。 纳米电子学是纳米技术的重要组成部分，其最终目标是将集成电路的几何结构进一步减小，研制出由单原子或单分子构成的并室温能用的的各种器件（纳米电子器件或量子器件）。 基础研究 自上而下，提高集成度 自下而上，将有机无机材料尺寸逐渐增大加工组装成纳米极器件（投资较少） 研究中需要解决的课题 量子隧穿效应。首先要考虑纳米点的材料和能级特性，还要考虑纳米隙的结构，绝缘材料和缺陷。 载流子的相干性。在微电子器件中不用考虑载流子的相位作用，而在纳米器件中经弹性碰撞后，载流子的相位关系仍保留，因此载流子的振幅与相位都应考虑并加以利用。 多隧道结之间的牵连效应。在某纳米点输入或取出一个电荷时，多隧道结之间会产生牵连影响，这种影响应深入研究并加以利用。 纳米电子器件 也称量子器件，是利用量子效应及其它电 学光学原理，采用纳米硅薄膜及其他材料 制作的量子