第章声表面波分析.pptVIP

第8章 声表面波技术及其传感应用 日期： 第8章 声表面波技术及其传感应用 8.1 概述 8.2 声表面波技术基础知识 8.4 SAW传感技术 8.6 SAW传感器的信号检测与处理 8.7 典型声表面波传感器简介 8.8 SAW传感器的温度补偿 8.1 概述 声表面波SAW（Surface Acoustic Wave）是一种能量集中在介质表面传播的弹性波，最早是由英国物理学家瑞利在1885年研究地震波传播过程时发现的。 1965年美国的White和Volrmov利用叉指换能器IDT（Interdigital Transducer）直接在压电介质上有效地激励出SAW后，SAW技术才很快地发展起来。 声表面波激发--叉指换能器 在发射叉指换能器上施加适当频率的交流电信号后，在压电晶片内部分布有电场，该电场可分解为垂直和水平二个分量（Ev和Eh），通过逆压电效应使指条电极间的材料发生垂直于和平行于表面的交变形变（声波），其频率与激励频率一致，此声信号沿基片表面传播，并最终由接收叉指换能器通过压电效应转换为电信号输出。 常用的声表面波器件材料 制作SAW器件的基片材料，必须是压电材料。压电材料的特性将直接影响所制作的SAW器件的各项性能，进而对SAW传感器的性能指标产生重要影响。 表征压电材料性能的重要参数有介电常数、弹性常数、压电常数、介质损耗、机械